[发明专利]电力供给装置、系统、曝光装置以及物品制造方法

说明书

电力供给装置具有用于向多个单元供给电力的多个电力供给端子。各单元包括：受电部，从所述多个电力供给端子中的任一个接受电力的供给；以及设备，不对所述受电部接受电力的供给，而将包含与该单元的消耗电力相关的信息的控制信息向所述电力供给装置提供。所述电力供给装置具备：多个电源；以及控制部，在未经由所述多个电力供给端子向所述多个单元供给电力的状态下从所述多个单元各自的所述设备获取所述控制信息，基于所述控制信息从所述多个电源中选择用于经由所述多个电力供给端子中的任一个向所述多个单元中的至少1个供给电力的电源。

技术领域

本发明涉及电力供给装置、系统、曝光装置以及物品制造方法。

背景技术

在工业设备中，存在具备满足基本规格的标准单元组和提供顾客能够选择的功能扩展的可选单元组的工业设备。另外，在工业设备中，除此以外，还有具备按照顾客的个别的需求开发的单元的工业设备。进而，也能够提供在供应商将工业设备交付给顾客之后也针对基本规格进行升级的硬件和/或软件。另一方面，难以单独地准备能够应对可采用各种组合的全部单元结构的电源。

首先，难以准确地掌握工业设备所包含的多个单元的整体的消耗电力。例如，在半导体曝光装置、FPD曝光装置那样的超高精密的工业设备的情况下，即使是相同的单元结构，根据设置目的地的不同，由于设置环境(周围温度、湿度、高度)、设备(冷却水温度、电源电压输入)等的影响，被用于环境控制的消耗电力也会发生变化。另外，用于减振控制的消耗电力会根据工业设备的设置场所的地面强度而发生变化。

另外，不仅因设置环境的不同而产生影响，在曝光序列中的从工件的送入到对准测量、扫描曝光的反复、工件的送出为止的过程中各单元的作用也可能不同。因此，根据曝光序列，消耗的电力的峰值的时机可能不同。例如，对准观测器和离轴观测器这样的测量系统在测量时消耗大量电力，但是在曝光时几乎不消耗电力。相反地，关于驱动原版的原版驱动机构及驱动基板的基板驱动机构，在测量时几乎不消耗电力，但在曝光时消耗大电力。期望的是，能够在掌握这样的各单元的特征的基础上，进行负载变得均匀的电源供给。

基于上述情况，如果是仅标准结构的单元，则能够以考虑了各单元的消耗电力规格和控制工业设备的软件所执行的顺序控制的设计数据为基础，准备适合于此的电力供给。然而，如果在使用所有选项的前提下构建工业设备的电源系统，则在没有可选结构的工业设备的情况下，电源的剩余电力较大。剩余电力大的结构的电源效率降低，因此从节能的观点出发是不期望的。另外，在有可选结构的情况和没有可选结构的情况下，标准单元的动作也不同，因此标准单元自身的消耗电力也可能变动。

如上所述，工业设备即使仅特性已知的标准单元和可选单元的组合多，也难以准确地掌握消耗电力。除此之外，还有时在与顾客的商谈的基础上规格确定的特订单元追加地连接于电源系统、或者在向顾客交付工业设备后对性能或功能进行升级，由此消耗电力增加。对于这样的情况，通过预先准备的工业设备的电源系统来应对是极其困难的。在最坏的情况下，也可能超过电源系统的容量，工业设备停机。

因此，在有单元的追加或者功能的追加的情况下，需要与之相应地增设电源，或者进行修改规模大的布线施工。其结果，构建了非高效的电源系统，由此，可能产生电力损失增加、或设置面积增加到所需程度以上这样的问题。另外，由于在断开主断路器之后进行布线施工，因此工业设备的停机时间可能会变大。

在专利文献1中记载了电源分配控制电路以及服务器分配控制电路。电源分配控制电路若从服务器装置获得电力预测值，则对消耗电力少的服务器装置发送使内置电源外部输出的切换指示，对消耗电力多的服务器装置发送接收被外部输出的内置电源的切换指示。服务器分配控制电路生成表示将剩余电力分配给哪个服务器多少的分配信息，并发送给服务器电源分配电路。然而，服务器装置如果不是被供给电力而作为服务器装置进行动作的状态，则不能将电力预测值发送到电源分配控制电路。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-170369号公报