[发明专利]电力供给装置、系统、曝光装置以及物品制造方法

权利要求书

1.一种电力供给装置，具有用于向多个单元供给电力的多个电力供给端子，其特征在于，

各单元包括：受电部，从所述多个电力供给端子中的任一个接受电力的供给；以及设备，不对所述受电部接受电力的供给，而将包含与该单元的消耗电力相关的信息的控制信息向所述电力供给装置提供，

所述电力供给装置具备：

多个电源；以及

控制部，在未经由所述多个电力供给端子向所述多个单元供给电力的状态下从所述多个单元各自的所述设备获取所述控制信息，基于所述控制信息从所述多个电源中选择用于经由所述多个电力供给端子中的任一个向所述多个单元中的至少1个供给电力的电源。

2.根据权利要求1所述的电力供给装置，其特征在于，

在所述多个单元包含已经决定从所述多个电源中的哪一个供给电力的至少1个第1单元和尚未决定从所述多个电源中的哪一个供给电力的至少1个第2单元的状态下，

所述控制部基于所述多个电源中的向所述第1单元供给电力的电源的剩余电力和所述第2单元的所述控制信息，从所述多个电源中选择所述多个电源中的用于向所述第2单元供给电力的电源。

3.根据权利要求1或2所述的电力供给装置，其特征在于，

还具备多个存储元件，该多个存储元件以1个存储器与1个电力供给端子对应的方式分别与所述多个电力供给端子对应，

所述多个单元的各个单元在与所述多个电力供给端子中的1个电力供给端子连接时，与所述多个存储元件中的与所述1个电力供给端子对应的存储元件连接，

所述多个存储元件的各个包括用于识别所述多个电力供给端子中的对应的电力供给端子的识别信息。

4.根据权利要求3所述的电力供给装置，其特征在于，

所述多个存储器的各个存储器从与所述多个电力供给端子中的对应的所述电力供给端子连接的单元的所述设备接受电力的供给而进行动作，将所述识别信息向所述设备供给。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的电力供给装置，其特征在于，

还具备通信接口，该通信接口具有向所述多个单元中的与所述多个电力供给端子连接的单元的所述设备供给电力的功能。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的电力供给装置，其特征在于，

所述设备包括储存所述控制信息的非易失性存储器，

所述控制部获取储存于所述非易失性存储器的所述控制信息。

7.根据权利要求6所述的电力供给装置，其特征在于，

储存于所述非易失性存储器的所述控制信息在任意或者预定的时机被更新，

所述控制部获取更新后的所述控制信息。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的电力供给装置，其特征在于，

还具备输出部，该输出部输出表示所述多个电源的规格和状态以及所述多个单元的消耗电力中的至少1个的信息。

9.一种单元，与具有用于向多个单元供给电力的多个电力供给端子的电力供给装置的所述多个电力供给端子中的任一个连接，并通过来自所述电力供给装置的电力进行动作，其特征在于，

该单元具备：受电部，从所述多个电力供给端子中的任一个接受电力的供给；以及通信部，不对所述受电部接受电力的供给，而将包含与该单元的消耗电力相关的信息的控制信息向所述电力供给装置提供。