[发明专利]真空泵在审
| 申请号： | 202180067993.2 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN116420028A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 铃木春树 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;任霄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供排气性能优异的真空泵。真空泵具备在旋转圆板(220a～220c)和固定圆板(219a、219b)的至少某一者设置有西格巴恩漩涡状槽部(262)的西格巴恩型排气机构部(201)、在旋转体(103)的圆筒部(102d)和带螺纹的间隔件(131)的至少某一者设置有螺纹槽(131a)的霍尔威克型排气机构部(301)，霍尔威克型排气机构部(301)配置于西格巴恩型排气机构部(201)的下游侧，前述真空泵的特征在于，霍尔威克型排气机构部(301)的流路深度以既定深度(H2)连续地恒定，且西格巴恩型排气机构部(201)具有从既定的位置以既定深度(H2)连续地恒定的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
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