[发明专利]真空泵在审
| 申请号： | 202180067993.2 | 申请日： | 2021-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN116420028A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 铃木春树 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;任霄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空泵，其具备在旋转圆板和固定圆板的至少某一者设置有漩涡状槽的西格巴恩排气机构、在旋转圆筒和固定圆筒的至少某一者设置有螺旋状槽的霍尔威克排气机构，前述霍尔威克排气机构配置于前述西格巴恩排气机构的下游侧，前述真空泵的特征在于，
前述霍尔威克排气机构的流路深度以既定深度连续地恒定，且前述西格巴恩排气机构具有从既定的位置以前述既定深度连续地恒定的区域。
2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
具备多层前述西格巴恩排气机构，
多个前述西格巴恩排气机构中的至少与前述霍尔威克排气机构连接的最下层的前述西格巴恩排气机构的流路深度以前述既定深度连续地恒定。
3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，
在前述西格巴恩排气机构的上游侧具备旋转翼和固定翼，
前述旋转翼具有翼列，
前述固定翼配置成在轴向上与前述旋转翼隔着既定的间隔。
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