[发明专利]真空泵

说明书

本发明提供排气性能优异的真空泵。真空泵具备在旋转圆板(220a～220c)和固定圆板(219a、219b)的至少某一者设置有西格巴恩漩涡状槽部(262)的西格巴恩型排气机构部(201)、在旋转体(103)的圆筒部(102d)和带螺纹的间隔件(131)的至少某一者设置有螺纹槽(131a)的霍尔威克型排气机构部(301)，霍尔威克型排气机构部(301)配置于西格巴恩型排气机构部(201)的下游侧，前述真空泵的特征在于，霍尔威克型排气机构部(301)的流路深度以既定深度(H2)连续地恒定，且西格巴恩型排气机构部(201)具有从既定的位置以既定深度(H2)连续地恒定的区域。

技术领域

本发明例如涉及涡轮分子泵等真空泵。

背景技术

一般地，作为真空泵的一种，已知有涡轮分子泵。在该涡轮分子泵中，通过向泵主体内的马达通电使旋转翼旋转，将吸入泵主体的气体(工艺气体)的气体分子弹飞，由此排出气体。

此外，这样的涡轮分子泵中，存在西格巴恩(也称作“西格班恩”)型的泵(专利文献1～3)。该西格巴恩型分子泵中，在旋转圆板和固定圆板之间的间隙形成有多个被山部间隔的漩涡状槽流路。并且，西格巴恩型分子泵相对于向漩涡状槽流路内扩散的气体分子，借助旋转圆板施加切线方向的动量，借助漩涡状槽流路向排气方向施加优势地位的方向性来进行排气。

进而，涡轮分子泵中也有螺纹槽式的泵(专利文献4)等。在该螺纹槽式的涡轮分子泵中，螺纹槽间隔件(70)和转子圆筒部(10)隔开既定的空隙地相向，螺纹槽为输送气体的流路。

专利文献1：日本专利第6228839号公报。

专利文献2：日本专利第6353195号公报。

专利文献3：日本专利第6616560号公报。

专利文献4：日本特开2013-217226号公报。

但是，上述的各种涡轮分子泵那样的真空泵中，通过各种各样的设计来实现排气性能的提高。并且，作为该排气性能的指标，主要有“排气速度”、“压缩性能”及“背压特性”。它们之中“排气速度”是单纯表示每单位时间能够排出的气体流量的指标。此外，“压缩性能”是能够将多少气体压缩的指标，与被排出的气体是压缩性流体的情况有关。

此外，“背压特性”是表示真空排气系统中比涡轮分子泵靠下游侧地配置的辅助泵(增压泵)的影响程度的指标。根据该“背压特性”，确定能够维持排气性能的极限背压。

进而，根据发明人的发现，关于“背压特性”，能够维持排气性能的极限背压也与气体流路体积(气体流路容积)有关，但主要较多受到流路长度的影响。因此，发明人得到在欲提高“背压特性”的情况下有用的是延长排出的气体的流路长度的结论。

发明内容

本发明的目的在于提供排气性能优异的真空泵。

(1)为了实现上述目的，本发明是一种真空泵，其具备在旋转圆板和固定圆板的至少某一者设置有漩涡状槽的西格巴恩排气机构、在旋转圆筒和固定圆筒的至少某一者设置有螺旋状槽的霍尔威克排气机构，前述霍尔威克排气机构配置于前述西格巴恩排气机构的下游侧，前述真空泵的特征在于，前述霍尔威克排气机构的流路深度以既定深度连续地恒定，且前述西格巴恩排气机构具有从既定的位置以前述既定深度连续地恒定的区域。

(2)此外，为了实现上述目的，其他本发明在(1)所述的真空泵中，其特征在于，具备多层前述西格巴恩排气机构，多个前述西格巴恩排气机构中的至少与前述霍尔威克排气机构连接的最下层的前述西格巴恩排气机构的流路深度以前述既定深度连续地恒定。

(3)此外，为了实现上述目的，其他本发明在(1)或(2)所述的真空泵中，其特征在于，在前述西格巴恩排气机构的上游侧具备旋转翼和固定翼，前述旋转翼具有翼列，前述固定翼配置成在轴向上与前述旋转翼隔着既定的间隔。

发明效果