[发明专利]超纯水供给系统、控制装置以及程序在审
| 申请号： | 202180055028.3 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN116133762A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 茑野恭平;中居巧;菅原广 | 申请（专利权）人： | 奥加诺株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/14 | 分类号： | B08B3/14 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 张黎;龚敏 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 超纯水供给系统具有：流通管(210)，使超纯水从超纯水制造设备(100)流向清洗装置(120)；处理单元(110)，设置于流通管(210)上；流通管(220)，在超纯水制造设备(100)与处理单元(110)之间从流通管(210)分支出来，使超纯水流向清洗装置(120)；水量控制部(310)，设置于流通管(220)从流通管(210)分支的第一分支部；水量控制部(320)，对从流通管(220)流向清洗装置(120)的超纯水进行控制；比较部(510)，比较第一量与第二量，第一量是由处理单元(110)处理后的超纯水中含有的杂质的量，所述第二量是未被处理单元(110)处理的超纯水中含有的杂质的量；以及流路控制部(520)，根据比较的结果来控制水量控制部(310、320)。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯水 供给 系统 控制 装置 以及 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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