[发明专利]用于在电子装置制造中运输基板的机器人设备和系统、及方法

摘要

描述了电子装置制造系统、机器人设备和相关方法。机器人设备包括具有内侧端和外侧端的臂，内侧端被配置为绕肩轴线旋转；第一前臂，被配置为在臂的外侧端绕肘轴线相对于臂独立旋转；第一腕部部件，被配置为在与肘轴线相对的第一前臂的远端处绕第一腕轴线相对于第一前臂独立旋转，其中第一腕部部件包括第一和第二终端受动器。机器人设备进一步包括第二前臂，被配置为绕肘轴线相对于臂独立旋转；第二腕部部件，被配置为绕第二腕轴线相对于第二前臂独立旋转，其中第二腕部部件包括第三和第四终端受动器。机器人设备进一步包括第三前臂，被配置为绕肘轴线相对于臂独立旋转；和第三腕部部件，被配置为绕第三腕轴线相对于第三前臂独立旋转，其中第二腕部部件包括第五和第六终端受动器。