[发明专利]用于在电子装置制造中运输基板的机器人设备和系统、及方法

说明书

描述了电子装置制造系统、机器人设备和相关方法。机器人设备包括具有内侧端和外侧端的臂，内侧端被配置为绕肩轴线旋转；第一前臂，被配置为在臂的外侧端绕肘轴线相对于臂独立旋转；第一腕部部件，被配置为在与肘轴线相对的第一前臂的远端处绕第一腕轴线相对于第一前臂独立旋转，其中第一腕部部件包括第一和第二终端受动器。机器人设备进一步包括第二前臂，被配置为绕肘轴线相对于臂独立旋转；第二腕部部件，被配置为绕第二腕轴线相对于第二前臂独立旋转，其中第二腕部部件包括第三和第四终端受动器。机器人设备进一步包括第三前臂，被配置为绕肘轴线相对于臂独立旋转；和第三腕部部件，被配置为绕第三腕轴线相对于第三前臂独立旋转，其中第二腕部部件包括第五和第六终端受动器。

技术领域

本公开内容涉及电子装置制造，并且更具体地涉及适于在电子装置制造设备内传输多个基板的设备和方法。

背景技术

已知的电子装置制造系统可包括处理腔室和装载锁定腔室，每个腔室都包含多个基板支撑件以保持相应数量的基板以供同时处理。这种处理腔室可包括在集群工具中，其中几个腔室和装载锁定分布在传送腔室周围。或者，处理腔室可包括在线性工具中，其中处理腔室和装载锁定分布在矩形传送腔室周围。

电子装置制造系统可以在传送腔室中采用机器人设备，该机器人设备被配置为在装载锁定和处理腔室之间传送基板。传送腔室、处理腔室、和装载锁定可以在某些时候在真空下操作。然而，在电子装置制造系统的一些配置中，利用机器人设备在各个腔室之间传输基板可能是低效的，并且可能涉及机械臂在装载锁定和处理腔室之间的多次行程。

因此，寻求具有改进效率的用于传输基板的改进的机器人设备、电子装置制造设备、和方法。

发明内容

根据实施方式本文公开了一种机器人设备，包括：臂，其包括内侧端和外侧端，内侧端被配置为绕肩轴线旋转；第一前臂，其被配置为在臂的外侧端处绕肘轴线相对于臂独立旋转；第一腕部部件，其被配置为在与肘轴线相对的第一前臂的远端处绕第一腕轴线相对于第一前臂独立旋转，其中第一腕部部件包括第一终端受动器和第二终端受动器；第二前臂，其被配置为绕肘轴线相对于臂独立旋转；第二腕部部件，其被配置为绕第二腕轴线相对于第二前臂独立旋转，其中第二腕部部件包括第三终端受动器和第四终端受动器；第三前臂，其被配置为绕肘轴线相对于臂独立旋转；和第三腕部部件，其被配置为绕第三腕轴线相对于第三前臂独立旋转，其中第二腕部部件包括第五终端受动器和第六终端受动器。

在进一步的实施方式中，本文公开了一种机器人设备，包括：第一臂，包括第一内侧端和第一外侧端，第一内侧端被配置为绕肩轴线旋转；第一前臂，其被配置为在第一臂的外侧端处绕第一肘轴线相对于第一臂独立旋转；第一腕部部件，其被配置为在与第一肘轴线相对的第一前臂的远端处绕第一腕轴线相对于第一前臂独立旋转，其中第一腕部部件包括第一终端受动器和第二终端受动器；第二臂，包括第二内侧端和第二外侧端，第二内侧端被配置为绕肩轴线旋转；第二前臂，其被配置为绕第二肘轴线相对于第二臂独立旋转；第二腕部部件，其被配置为绕第二腕轴线相对于第二前臂独立旋转，其中第二腕部部件包括第三终端受动器和第四终端受动器；和第三前臂，其被配置为绕第三肘轴线相对于第一臂独立旋转；和第三腕部部件，其被配置为绕第三腕轴线相对于第三前臂独立旋转，其中第三腕部部件包括第五终端受动器和第六终端受动器。