[发明专利]用于在电子装置制造中运输基板的机器人设备和系统、及方法

权利要求书

1.一种机器人设备，包括：

臂，所述臂包括内侧端和外侧端，所述内侧端被配置为绕肩轴线旋转；

第一前臂，所述第一前臂被配置为在所述臂的所述外侧端处绕肘轴线相对于所述臂独立旋转；

第一腕部部件，所述第一腕部部件被配置为在与所述肘轴线相对的所述第一前臂的远端处绕第一腕轴线相对于所述第一前臂独立旋转，其中所述第一腕部部件包括第一终端受动器和第二终端受动器；

第二前臂，所述第二前臂被配置为绕所述肘轴线相对于所述臂独立旋转；

第二腕部部件，所述第二腕部部件被配置为绕第二腕轴线相对于所述第二前臂独立旋转，其中所述第二腕部部件包括第三终端受动器和第四终端受动器；

第三前臂，所述第三前臂被配置为绕所述肘轴线相对于所述臂独立旋转；和

第三腕部部件，所述第三腕部部件被配置为绕第三腕轴线相对于所述第三前臂独立旋转，其中所述第二腕部部件包括第五终端受动器和第六终端受动器。

2.根据权利要求1所述的机器人设备，包括驱动马达组件，所述驱动马达组件包括：

臂驱动马达，所述臂驱动马达被配置为引起所述臂的所述独立旋转；

第一前臂驱动马达，所述第一前臂驱动马达被配置为引起所述第一前臂的所述独立旋转；

第二前臂驱动马达，所述第二前臂驱动马达被配置为引起所述第二前臂的所述独立旋转；

第三前臂驱动马达，第三前臂驱动马达被配置为引起所述第三前臂的所述独立旋转；

第一腕驱动马达，所述第一腕驱动马达被配置为引起所述第一腕部部件的所述独立旋转；

第二腕驱动马达，所述第二腕驱动马达被配置为引起所述第二腕部部件的所述独立旋转；和

第三腕驱动马达，所述第三腕驱动马达被配置为引起所述第二腕部部件的所述独立旋转。

3.根据权利要求2所述的机器人设备，其中所述驱动马达组件进一步包括位于所述肩轴线处的臂轴、位于所述肘轴线处的公共前臂轴、位于所述第一腕轴线处的第一腕轴、位于所述第二腕轴线处的第二腕轴、及位于所述第三腕轴线处的第三腕轴，

其中所述驱动马达组件进一步包括：

第一驱动滑轮，所述第一驱动滑轮耦接于所述第一前臂轴，并被配置为引起所述第一前臂的所述独立旋转；

第二驱动滑轮，所述第二驱动滑轮耦接于所述第二前臂轴，并被配置为引起所述第二前臂的所述独立旋转；

第三驱动滑轮，所述第三驱动滑轮耦接于所述第一腕轴，并被配置为引起所述第一腕部部件的所述独立旋转；

第四驱动滑轮，所述第四驱动滑轮耦接于所述第二腕轴，并被配置为引起所述第二腕部部件的所述独立旋转；

第五驱动滑轮，所述第五驱动滑轮耦接于所述第三腕轴，并被配置为引起所述第二腕部部件的所述独立旋转。

4.根据权利要求1所述的机器人设备，其中所述第一腕部部件和所述第二腕部部件之间的第一间距小于所述第二腕部部件和所述第三腕部部件之间的第二间距。

5.根据权利要求1所述的机器人设备，进一步包括：

第四前臂，所述第四前臂被配置为绕所述肘轴线相对于所述臂独立旋转；和

第四腕部部件，所述第四腕部部件被配置为绕第四腕轴线相对于所述第四前臂独立旋转，其中所述第四腕部部件包括第七终端受动器和第八终端受动器。

6.根据权利要求5所述的机器人设备，其中当被配置为折叠和归零配置时，第一前臂、所述第二前臂、所述第三前臂、和所述第四前臂彼此叠置，且其中当被配置为所述折叠和归零配置时，所述第一终端受动器、所述第三终端受动器、所述第五终端受动器和所述第七终端受动器彼此叠置，并且其中当被配置为所述折叠和归零配置时，所述第二终端受动器、所述第四终端受动器、所述第六终端受动器、和所述第八终端受动器彼此叠置。