[发明专利]用于抛光液体传输臂的清洁系统在审
| 申请号： | 202180042188.4 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN115697632A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 罗伊·C·南戈;沙塔努·拉吉夫·加吉尔;内森·阿伦·戴维斯;艾伦·L·丹布拉;迈克尔·J·考夫林;苏米特·苏巴什·帕坦卡 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种抛光组件，包括用以支撑抛光垫的能够旋转的工作台；抛光液体传输臂，具有在底部处开启的围护件，和一个或更多个端口，以传输抛光液体和清洁流体向下通过围护件的内部空间至抛光垫上；以及传输臂清洁工具，可移除地附加至抛光液体传输臂，清洁工具在传输臂下方延伸，且具有面向传输臂的表面，被塑形使得清洁工具从抛光液体传输臂引导清洁流体至抛光液体传输臂的围护件的表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 抛光 液体 传输 清洁 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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