[发明专利]用于抛光液体传输臂的清洁系统

权利要求书

1.一种抛光组件，包括：

能够旋转的工作台，用以支撑抛光垫；

抛光液体传输臂，具有在底部开放的围护件和一个或多个端口，用以传输抛光液体和清洁流体向下通过所述围护件的内部空间至所述抛光垫上；及

传输臂清洁工具，可移除地附加至所述抛光液体传输臂，所述清洁工具在所述传输臂下方延伸，并且具有面向传输臂的表面，所述面向传输臂的表面被构形为使得所述清洁工具把来自所述抛光液体传输臂的所述清洁流体引导至所述抛光液体传输臂的所述围护件的表面上。

2.如权利要求1所述的组件，其中所述面向传输臂的表面具有多个凹面以引导所述清洁流体。

3.如权利要求1所述的组件，其中所述传输臂包括提供所述围护件的顶面和从所述顶面向下延伸的侧壁、介于所述顶面和所述侧壁之间的内部空间。

4.如权利要求3所述的组件，其中所述一个或多个喷嘴附加至所述传输臂的所述顶面。

5.如权利要求4所述的组件，其中所述清洁工具包括主体，所述主体具有沿着所述传输臂的外表面向上延伸的侧壁。

6.如权利要求5所述的组件，其中所述清洁工具包括插件，所述插件可移除地固定至所述主体，并且其中所述面向传输臂的表面是所述插件的顶部表面，使得所述插件把来自所述抛光液体传输臂的所述清洁流体引导回到所述抛光液体传输臂的所述表面。

7.如权利要求5所述的组件，其中所述主体在所述臂的下方且横跨所述臂延伸，并且其中所述面向传输臂的表面是所述主体的顶部表面。

8.如权利要求4所述的组件，其中所述主体包括保持耳片，所述保持耳片被构造为用以在所述传输臂的所述顶面之上延伸，以将所述主体固定至所述抛光液体传输臂。

9.一种抛光液体传输臂清洁装置，包括：

传输臂清洁工具，被构造为用以可移除地固定至抛光液体传输臂，所述传输臂清洁工具包括面向臂的表面，所述面向臂的表面被构形为用以将从抛光液体传输臂向下投射的清洁流体引导回到所述抛光液体传输臂的围护件的内表面上。

10.如权利要求9所述的装置，其中所述面向臂的表面包括多个凹面以引导所述清洁流体。

11.如权利要求9所述的装置，其中所述传输臂清洁工具包括保持耳片，所述保持耳片被构造为用以在所述抛光液体传输臂的顶部之上延伸。

12.如权利要求9所述的装置，其中所述传输臂清洁工具包括下部盖及可拆卸地能够固定至所述下部盖的上部盖。

13.一种抛光液体传输臂清洁工具，包括：

主体，被构造为用以可移除地固定至化学机械抛光系统的抛光液体传输臂；及

插件，可移除地固定至所述主体，所述插件具有面向臂的表面，所述面向臂的表面被构形为用以把来自所述抛光液体传输臂的清洁流体引导回到所述抛光液体传输臂的围护件的内表面。

14.如权利要求13所述的工具，其中所述面向臂的表面具有多个凹面以引导所述清洁流体。

15.一种抛光液体传输臂清洁方法，包括以下步骤：

安装抛光液体传输臂清洁工具以在抛光液体传输臂的围护件下方延伸；

使清洁流体流动通过所述抛光液体传输臂；

将来自所述抛光液体传输臂的所述清洁流体引导离开所述清洁工具的表面回到所述抛光液体传输臂的所述围护件的表面；和

从所述抛光液体传输臂移除所述抛光液体传输臂清洁工具。