[发明专利]超连续谱辐射源及相关量测装置在审
| 申请号： | 202180035751.5 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN115668050A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安·托马斯·鲍尔思科米特;彼得·马克西米兰·戈茨;帕特里克·塞巴斯蒂安·于贝尔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/35 | 分类号： | G02F1/35;G03F7/20;G03F9/00;G02B6/02;G02B6/42;H01S3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种超连续谱辐射源，包括：调制解调器，可操作为调制包括辐射脉冲的串的泵浦激光辐射，以提供经调制的泵浦激光辐射，调制使得选择性地提供脉冲的猝发串；以及中空芯部光子晶体光纤，可操作为接收经调制的泵浦激光辐射，并且激励包含在中空芯部光子晶体光纤内的工作介质，从而产生超连续谱辐射。 | ||
| 搜索关键词： | 连续谱 辐射源 相关 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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