[发明专利]超连续谱辐射源及相关量测装置

权利要求书

1.一种超连续谱辐射源，包括：

调制解调器，能够操作为调制包括辐射脉冲的串的泵浦激光辐射，以提供经调制的泵浦激光辐射，所述调制使得选择性地提供所述脉冲的猝发串；以及

中空芯部光子晶体光纤，能够操作为接收经调制的泵浦激光辐射，并且激励包含在所述中空芯部光子晶体光纤内的工作介质，从而产生超连续谱辐射。

2.根据权利要求1所述的超连续谱辐射源，其中，在所述调制之前的辐射脉冲的所述串的连续单个脉冲之间的周期与经调制的泵浦激光辐射的脉冲的所述猝发串的连续单个脉冲之间的周期相同。

3.根据权利要求1或2所述的超连续谱辐射源，其中，所述调制使得所述猝发串的连续个体之间的时间延迟是连续单个泵浦脉冲之间的时间延迟的2倍以上。

4.根据权利要求3所述的超连续谱辐射源，所述超连续谱辐射能够操作为使得每猝发串的泵浦脉冲的数量以及猝发串之间的时间延迟是能够控制的。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的超连续谱辐射源，其中，所述调制解调器包括光机和/或电光调制解调器。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的超连续谱辐射源，其中，所述调制解调器包括以下中的一种或多种：一个或多个声光滤波器、一个或多个翻转/检流计反射镜、一个或多个电动遮板、或一个或多个旋转叶片。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的超连续谱辐射源，其中，所述调制解调器能够操作为在连续的猝发串之间提供一个或多个中间脉冲，和/或提供每个猝发串的可变猝发串长度。

8.根据权利要求7所述的超连续谱辐射源，其中，所述一个或多个中间脉冲和/或可变猝发串长度的一个或多个参数被优化成使小于60秒的时间周期上的所述超连续谱辐射源的平均输出功率具有高均匀性。

9.根据权利要求7所述的超连续谱辐射源，其中，所述一个或多个中间脉冲和/或可变猝发串长度的一个或多个参数被优化成使小于1秒的时间周期上的所述超连续谱辐射源的平均输出功率具有高均匀性。

10.根据前述权利要求中的任一项所述的超连续谱辐射源，还包括用于输出泵浦脉冲的所述串的泵浦激光器。

11.根据前述权利要求中的任一项所述的超连续谱辐射源，其中，所述调制解调器能够操作为接收控制信号，并且根据所述控制信号调制所述泵浦激光辐射。

12.一种量测装置，包括：

衬底支撑件，用于支撑衬底；

根据权利要求11所述的超连续谱辐射源；

光学系统，能够操作为将来自所述超连续谱辐射源的超连续谱辐射引导到所述衬底；以及

处理器，能够操作为产生所述控制信号。

13.根据权利要求12所述的量测装置，其中，所述处理器能够操作为使脉冲的猝发串的产生与通过所述量测装置的测量的执行同步。

14.根据权利要求12或13所述的量测装置，其中，所述量测装置能够操作为以下中的至少一种：散射仪量测设备、水平传感器或对准传感器。

15.一种量测设备，包括至少一个根据权利要求12至14中任一项所述的量测装置，以用于执行对准和/或调平量测。