[发明专利]检查晶片期间静电卡盘的动态控制方法、装置和系统在审
| 申请号： | 202180022535.7 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN115298793A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 王義向;刘士兵;罗映 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁;杨飞 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种静电卡盘控制系统被配置为在晶片的检查过程期间利用，该静电卡盘控制系统包括载物台的静电卡盘，该载物台被配置为在检查过程期间被解除对接，其中静电卡盘包括多个部件，该多个部件被配置为在检查过程期间影响晶片与静电卡盘之间的相互作用；第一传感器，被配置为生成多个部件中的至少一些部件与晶片之间的测量数据；以及控制器，包括电路系统，该电路系统被配置为接收测量数据以确定晶片相对于静电卡盘的特性并且生成调整数据以使得能够在载物台被解除对接的同时基于所确定的特性来调整多个部件中的至少一些部件。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 晶片 期间 静电 卡盘 动态控制 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180022535.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于数据输入的语音识别和训练
- 下一篇：自动生成多样化文本
