[发明专利]检查晶片期间静电卡盘的动态控制方法、装置和系统

权利要求书

1.一种被配置为在晶片的检查过程期间利用的静电卡盘控制系统，所述静电卡盘控制系统包括：

载物台的静电卡盘，所述载物台被配置为在所述检查过程期间被解除对接，其中所述静电卡盘包括多个部件，所述多个部件被配置为在所述检查过程期间影响所述晶片与所述静电卡盘之间的相互作用；

第一传感器，被配置为生成所述多个部件中的至少一些部件与所述晶片之间的测量数据；以及

控制器，包括电路系统，所述电路系统被配置为接收所述测量数据以确定所述晶片相对于所述静电卡盘的特性并且生成调整数据，以使得能够在所述载物台被解除对接的同时基于所确定的特性来调整所述多个部件中的至少一些部件。

2.根据权利要求1所述的静电卡盘控制系统，还包括驱动器，所述驱动器以通信方式耦合到所述控制器，并且被配置为将控制信号施加到所述多个部件，以使得能够调整所述多个部件。

3.根据权利要求1所述的静电卡盘控制系统，其中所述载物台被配置为在所述检查过程期间在所述载物台被解除对接之后移动到预定位置。

4.根据权利要求3所述的静电卡盘控制系统，其中所述载物台被配置为在所述检查过程期间移动到所述预定位置以使得带电粒子系统能够扫描所述晶片。

5.根据权利要求2所述的静电卡盘控制系统，还包括电源，所述电源向所述驱动器和所述控制器提供功率。

6.根据权利要求2所述的静电卡盘控制系统，还包括光纤，所述光纤连接所述驱动器与所述控制器、并且被配置为在所述驱动器与所述控制器之间传送数据。

7.根据权利要求1所述的静电卡盘控制系统，其中所述控制器包括实时控制器。

8.根据权利要求1所述的静电卡盘控制系统，其中所述多个部件包括多个电极，所述多个电极被配置为通过产生电场来影响所述晶片与所述静电卡盘之间的相互作用。

9.根据权利要求8所述的静电卡盘控制系统，其中由所述第一传感器生成的所述测量数据包括所述多个电极与所述晶片之间的电容测量数据。

10.根据权利要求8所述的静电卡盘控制系统，其中所述多个电极包括第一电极集合和第二电极集合，其中所述第一电极集合和所述第二电极集合被配置为提供数据，以确定所述晶片在所述检查过程期间是否弯曲。

11.根据权利要求1所述的静电卡盘控制系统，其中所述多个部件包括多个引脚，所述多个引脚被配置为：通过将脉冲传输到所述晶片，来影响所述晶片与所述静电卡盘之间的相互作用。

12.根据权利要求11所述的静电卡盘控制系统，还包括：

第二传感器，被配置为生成电阻测量数据，所述电阻测量数据对应于所述多个引脚与所述晶片之间的连接的电阻，其中所述控制器还被配置为接收所述电阻测量数据，以确定是否生成用于调整所述连接的所述电阻的调整数据。

13.根据权利要求11所述的静电卡盘控制系统，还包括接地脉冲生成器，所述接地脉冲生成器被配置为：向所述晶片生成所述脉冲并且从所述控制器接收调整数据，以使得能够基于所述确定来调整所述多个引脚中的至少一些引脚，

其中所述脉冲是高电压脉冲。

14.根据权利要求1所述的静电卡盘控制系统，其中所述控制器还被配置为基于所接收的测量来向外部系统报告误差。

15.一种非暂态计算机可读介质，存储指令集，所述指令集能够由装置的控制器执行以使得所述装置执行在耦合到静电卡盘的载物台被解除对接的同时动态调整静电卡盘控制系统的参数的方法，所述方法包括：

在所述载物台被解除对接以进行晶片检查的同时，接收测量数据以确定所述晶片相对于所述静电卡盘的特性，其中所述测量数据基于在所述静电卡盘中实现的多个第一部件与所述晶片之间的相互作用而被生成；以及

在所述载物台被解除对接的同时，基于所确定的特性来调整所述多个第一部件中的至少一些第一部件。