[发明专利]三维存储器件及其形成方法有效
| 申请号： | 202180000824.7 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113196483B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 许宗珂;袁彬;王香凝;张强威 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H10B43/00 | 分类号： | H10B43/00;H10B43/20;H10B43/27 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 于景辉;李文彪 |
| 地址： | 430074 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 提供了一种三维(3D)存储器件。在示例中，该3D存储器件包括阶梯和穿过阶梯的多个支撑结构组。多个支撑结构组被布置在第一方向上，并且支撑结构组中的每个组包括三个支撑结构，其中，三个支撑结构的投影在平行于第一方向的平面中形成三角形形状。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 存储 器件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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