[实用新型]一种加工大尺寸样品用FIB设备载台有效
| 申请号： | 202123447738.7 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN217239381U | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 陈明志;褚耕颉;陈弘仁 | 申请（专利权）人： | 闳康技术检测（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/08;H01J37/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种加工大尺寸样品用FIB设备载台，涉及FIB设备的领域，其包括底座，底座沿水平方向的两端均滑移设置有抵接块，多个抵接块用于对样品进行限位；底座上设置有固定件，固定件用于固定连接抵接块与底座。本申请具有使得FIB设备载台能适用不同尺寸样品的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 尺寸 样品 fib 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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