[实用新型]一种芯片发散角测试装置有效
申请号: | 202123446217.X | 申请日: | 2021-12-31 |
公开(公告)号: | CN216900796U | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 彭琪;郭庆锐;余漫;苏文毅 | 申请(专利权)人: | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 钟勤 |
地址: | 430000 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本申请提供一种芯片发散角测试装置,包括:第一平台、模拟激光机构、第三测试机构和控制器,模拟激光机构和第三测试机构分别与控制器连接,第三测试机构包括第一传感器、第二传感器、第一旋转组件和第二旋转组件,第一传感器安装于第一旋转组件上,第二传感器安装于第二旋转组件上,第一传感器和第二传感器沿垂直于待测试芯片的光束方向布置;控制器用于接收各位置的第三光强度信息和各位置的第四光强度信息,计算待测试芯片发出的激光束的发散角;并根据发散角判断待测试芯片是否合格,并输出测试结果。克服了现有的采用人工测试芯片发散角,测试结果不可靠、效率低的问题,自动化程度,提高测试效率和测试结果的准确度。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 发散 测试 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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