[实用新型]一种芯片发散角测试装置

说明书

本申请提供一种芯片发散角测试装置，包括：第一平台、模拟激光机构、第三测试机构和控制器，模拟激光机构和第三测试机构分别与控制器连接，第三测试机构包括第一传感器、第二传感器、第一旋转组件和第二旋转组件，第一传感器安装于第一旋转组件上，第二传感器安装于第二旋转组件上，第一传感器和第二传感器沿垂直于待测试芯片的光束方向布置；控制器用于接收各位置的第三光强度信息和各位置的第四光强度信息，计算待测试芯片发出的激光束的发散角；并根据发散角判断待测试芯片是否合格，并输出测试结果。克服了现有的采用人工测试芯片发散角，测试结果不可靠、效率低的问题，自动化程度，提高测试效率和测试结果的准确度。

技术领域

本申请属于半导体检测技术领域，尤其涉及一种芯片发散角测试装置。

背景技术

随着半导体激光行业的飞速发展，对激光器芯片进行发散角测试，用于确定芯片的性能和工作状态是否能够满足需求。然而现有技术中，大部分采用人工操作，人工操作效率低，耗费人力物力，且测试结果不可靠。

实用新型内容

本申请实施例提供一种芯片发散角测试装置，以解决现有的采用人工测试芯片发散角，测试结果不可靠、效率低的问题。

第一方面，本申请实施例提供一种芯片发散角测试装置，包括：

第一平台；

设置于所述第一平台上的模拟激光机构，包括工作台、加电组件和冷却组件，所述加电组件位于所述工作台一侧，所述加电组件用于给所述工作台上的待测试芯片加电，以使得所述待测试芯片发出激光束，所述冷却组件与所述工作台连接，用于给所述工作台上的所述待测试芯片进行散热降温；

设置于所述第一平台上的第三测试机构，包括第一传感器、第二传感器、第一旋转组件和第二旋转组件，所述第一传感器安装于所述第一旋转组件上，所述第二传感器安装于所述第二旋转组件上，所述第一传感器和所述第二传感器沿垂直于所述待测试芯片的光束方向布置，所述第一旋转组件用于驱动所述第一传感器沿第一弧线摆动，所述第一传感器用于检测沿第一弧线摆动过程中各位置的第三光强度信息，所述第二旋转组件用于驱动所述第二传感器沿第二弧线摆动，所述第二传感器用于检测沿第二弧线摆动过程中各位置的第四光强度信息，所述第一弧线所在的平面与所述第二弧线所在的平面垂直布置；

控制器，所述模拟激光机构和第三测试机构分别与所述控制器连接，所述控制器用于：

接收各位置的所述第三光强度信息和各位置的所述第四光强度信息，根据各位置的所述第三光强度信息和各位置的所述第四光强度信息计算所述待测试芯片发出的激光束的发散角；

并根据所述发散角判断所述待测试芯片是否合格，并输出测试结果。

可选的，所述工作台包括第一底座、驱动部和夹持部，所述第一底座上设置有凸台，所述凸台的面积与所述待测试芯片的面积适配，所述驱动部与所述夹持部连接，所述凸台用于放置所述待测试芯片，所述驱动部用于驱动所述夹持部夹持固定所述待测试芯片。

可选的，所述夹持部包括对称设置于所述凸台两侧的第一子部和第二子部，所述第一子部和第二子部靠近所述凸台的一侧具有与所述待测试芯片侧壁形状适配的接触面，所述第一子部和所述第二子部靠近所述凸台的一侧还设有与所述凸台侧壁形状适配的抵持面，所述接触面位于所述抵持面上方。

可选的，所述驱动部包括：第一气缸和第二气缸，所述第一气缸连接所述第一子部远离所述接触面的一端，所述第二气缸连接所述第二子部远离所述接触面的一端，所述第一气缸和所述第二气缸分别驱动所述第一子部和所述第二子部相对靠近或远离；

所述第一底座上设置有限位部，所述限位部位于所述第一子部和所述第二子部之间，所述限位部位于所述凸台一侧，所述限位部用以在所述第一子部和第二子部夹持所述待测试芯片时，抵持所述第一子部和所述第二子部。