[实用新型]一种单晶炉石墨热场的拆炉装置有效
申请号: | 202123432410.8 | 申请日: | 2021-12-31 |
公开(公告)号: | CN217266134U | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 郭正平;郜勇军;吴志军;郑春峰 | 申请(专利权)人: | 矽盛光电(宁夏)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 浙江翔隆专利事务所(普通合伙) 33206 | 代理人: | 周培培 |
地址: | 753600 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,属于单晶炉技术领域,包括:单晶炉外壳,所述单晶炉外壳的顶部安装有拆炉组件,所述单晶炉外壳的内侧安装有隔热组件;所述单晶炉外壳的内侧壁插接有石墨加热器,所述石墨加热器的内侧设置有石墨坩埚,所述拆炉组件包括安装在单晶炉外壳底部的电动推杆和安装在电动推杆输出端顶部的推板,且推板嵌套安装在石墨坩埚的底部,所述单晶炉外壳的顶部支撑有密封盖,所述密封盖的顶部一体成型有隔热筒,所述密封盖的底部外周焊接有密封圈,且密封圈通过螺纹连接在单晶炉外壳的外侧。该单晶炉石墨热场的拆炉装置,拆炉时更加稳定和安全,且装置的密封性更高使得加热更高效。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 石墨 装置 | ||
【主权项】:
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