[实用新型]一种单晶炉石墨热场的拆炉装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，属于单晶炉技术领域，包括：单晶炉外壳，所述单晶炉外壳的顶部安装有拆炉组件，所述单晶炉外壳的内侧安装有隔热组件；所述单晶炉外壳的内侧壁插接有石墨加热器，所述石墨加热器的内侧设置有石墨坩埚，所述拆炉组件包括安装在单晶炉外壳底部的电动推杆和安装在电动推杆输出端顶部的推板，且推板嵌套安装在石墨坩埚的底部，所述单晶炉外壳的顶部支撑有密封盖，所述密封盖的顶部一体成型有隔热筒，所述密封盖的底部外周焊接有密封圈，且密封圈通过螺纹连接在单晶炉外壳的外侧。该单晶炉石墨热场的拆炉装置，拆炉时更加稳定和安全，且装置的密封性更高使得加热更高效。

技术领域

本实用新型属于单晶炉技术领域，尤其是一种单晶炉石墨热场的拆炉装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中，通过石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化后用直拉法生长无错位单晶的设备，在直拉完成后需要拆炉对其取出，为了提高效率，就需要相应的拆炉装置。

例如中国实用新型申请号为CN201320642732.1的一种单晶炉热场的拆炉工具，包括支撑装置和拆取装置，拆取装置设置在支撑装置的下方，其特征在于：所述的支撑装置包括两个相对设置的人字形支撑架，在支撑架的顶部设有圆形的吊环且支撑架的底部设有活动孔，两支撑架的吊环通过固连起吊装置联接在一起，所述的拆取装置为四个竖弯钩形的抓取钩，抓取钩的顶端与支撑架底部的活动孔相铰接，所述的支撑装置和拆取装置整体呈爪形。本实用新型的有益效果是：由人工拆炉被机械所替代，有效降低工人劳动强度、降低事故发生的几率、延长石墨件的使用寿命，可以一次性将埚底料、石英埚和CFC坩埚一并提出，降低生产成本并提高效率。

但现有的装置存在着拆炉时不够平稳，导致拆炉过程容易烫伤工作人员的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，以解决背景技术中提出的问题。

技术方案：一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，包括：

单晶炉外壳，所述单晶炉外壳的顶部安装有拆炉组件，所述单晶炉外壳的内侧安装有隔热组件；

所述单晶炉外壳的内侧壁插接有石墨加热器，所述石墨加热器的内侧设置有石墨坩埚，所述拆炉组件包括安装在单晶炉外壳底部的电动推杆和安装在电动推杆输出端顶部的推板，且推板嵌套安装在石墨坩埚的底部，所述单晶炉外壳的顶部支撑有密封盖，所述密封盖的顶部一体成型有隔热筒，所述密封盖的底部外周焊接有密封圈，且密封圈通过螺纹连接在单晶炉外壳的外侧，所述密封盖对称的两侧均连接有连接杆。

在进一步的实施例中，所述隔热组件包括连接在密封盖底部的密封环和导流筒，且密封环支撑在单晶炉外壳的内侧，所述单晶炉外壳的内侧壁下部嵌套安装有隔热壳体，且隔热壳体支撑在石墨加热器的外侧，所述石墨加热器的底部和单晶炉外壳的内侧底部之间设置有保温板。

在进一步的实施例中，所述保温板的底部呈环形阵列连接有多个插块，所述单晶炉外壳的内侧底部开设有和插块对应的插孔，且插块插接在对应的插孔内。

在进一步的实施例中，所述隔热筒的顶部固定插接有隔热塞，所述隔热筒与密封盖的连接处粘接有隔热胶层。

在进一步的实施例中，所述单晶炉外壳的底部安装有安装板，且安装板的底部呈环形阵列安装有四个支腿。

在进一步的实施例中，所述连接杆远离密封盖的一端连接有握杆，且握杆的侧壁套接有橡胶套。

本实用新型的技术效果和优点：该单晶炉石墨热场的拆炉装置，通过握住两个连接杆旋动密封盖的方式进行拆炉，密封盖在密封圈的螺纹下平稳上升，确保拆炉时更加稳定和安全；

通过密封圈与密封环对密封盖与单晶炉外壳的连接处进行密封，配合隔热壳体在侧壁的密封，隔热筒和隔热塞在顶部的密封和保温板在底部的密封，使得装置的密封性更高使得加热更高效；