[实用新型]一种单晶炉石墨热场的拆炉装置有效
申请号: | 202123432410.8 | 申请日: | 2021-12-31 |
公开(公告)号: | CN217266134U | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 郭正平;郜勇军;吴志军;郑春峰 | 申请(专利权)人: | 矽盛光电(宁夏)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 浙江翔隆专利事务所(普通合伙) 33206 | 代理人: | 周培培 |
地址: | 753600 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 石墨 装置 | ||
1.一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,包括:
单晶炉外壳(1),所述单晶炉外壳(1)的顶部安装有拆炉组件,所述单晶炉外壳(1)的内侧安装有隔热组件;
其特征在于:所述单晶炉外壳(1)的内侧壁插接有石墨加热器(3),所述石墨加热器(3)的内侧设置有石墨坩埚(4),所述拆炉组件包括安装在单晶炉外壳(1)底部的电动推杆(5)和安装在电动推杆(5)输出端顶部的推板,且推板嵌套安装在石墨坩埚(4)的底部,所述单晶炉外壳(1)的顶部支撑有密封盖(6),所述密封盖(6)的顶部一体成型有隔热筒(7),所述密封盖(6)的底部外周焊接有密封圈(8),且密封圈(8)通过螺纹连接在单晶炉外壳(1)的外侧,所述密封盖(6)对称的两侧均连接有连接杆(9)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,其特征在于:所述隔热组件包括连接在密封盖(6)底部的密封环(11)和导流筒(14),且密封环(11)支撑在单晶炉外壳(1)的内侧,所述单晶炉外壳(1)的内侧壁下部嵌套安装有隔热壳体(2),且隔热壳体(2)支撑在石墨加热器(3)的外侧,所述石墨加热器(3)的底部和单晶炉外壳(1)的内侧底部之间设置有保温板(12)。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,其特征在于:所述保温板(12)的底部呈环形阵列连接有多个插块,所述单晶炉外壳(1)的内侧底部开设有和插块对应的插孔,且插块插接在对应的插孔内。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,其特征在于:所述隔热筒(7)的顶部固定插接有隔热塞(13),所述隔热筒(7)与密封盖(6)的连接处粘接有隔热胶层(15)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,其特征在于:所述单晶炉外壳(1)的底部安装有安装板(17),且安装板(17)的底部呈环形阵列安装有四个支腿(18)。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,其特征在于:所述连接杆(9)远离密封盖(6)的一端连接有握杆(10),且握杆(10)的侧壁套接有橡胶套。
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