[实用新型]一种单晶炉石墨热场的拆炉装置有效

专利信息
申请号: 202123432410.8 申请日: 2021-12-31
公开(公告)号: CN217266134U 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 郭正平;郜勇军;吴志军;郑春峰 申请(专利权)人: 矽盛光电(宁夏)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 浙江翔隆专利事务所(普通合伙) 33206 代理人: 周培培
地址: 753600 宁夏回*** 国省代码: 宁夏;64
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉 石墨 装置
【权利要求书】:

1.一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,包括:

单晶炉外壳(1),所述单晶炉外壳(1)的顶部安装有拆炉组件,所述单晶炉外壳(1)的内侧安装有隔热组件;

其特征在于:所述单晶炉外壳(1)的内侧壁插接有石墨加热器(3),所述石墨加热器(3)的内侧设置有石墨坩埚(4),所述拆炉组件包括安装在单晶炉外壳(1)底部的电动推杆(5)和安装在电动推杆(5)输出端顶部的推板,且推板嵌套安装在石墨坩埚(4)的底部,所述单晶炉外壳(1)的顶部支撑有密封盖(6),所述密封盖(6)的顶部一体成型有隔热筒(7),所述密封盖(6)的底部外周焊接有密封圈(8),且密封圈(8)通过螺纹连接在单晶炉外壳(1)的外侧,所述密封盖(6)对称的两侧均连接有连接杆(9)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,其特征在于:所述隔热组件包括连接在密封盖(6)底部的密封环(11)和导流筒(14),且密封环(11)支撑在单晶炉外壳(1)的内侧,所述单晶炉外壳(1)的内侧壁下部嵌套安装有隔热壳体(2),且隔热壳体(2)支撑在石墨加热器(3)的外侧,所述石墨加热器(3)的底部和单晶炉外壳(1)的内侧底部之间设置有保温板(12)。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,其特征在于:所述保温板(12)的底部呈环形阵列连接有多个插块,所述单晶炉外壳(1)的内侧底部开设有和插块对应的插孔,且插块插接在对应的插孔内。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,其特征在于:所述隔热筒(7)的顶部固定插接有隔热塞(13),所述隔热筒(7)与密封盖(6)的连接处粘接有隔热胶层(15)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,其特征在于:所述单晶炉外壳(1)的底部安装有安装板(17),且安装板(17)的底部呈环形阵列安装有四个支腿(18)。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,其特征在于:所述连接杆(9)远离密封盖(6)的一端连接有握杆(10),且握杆(10)的侧壁套接有橡胶套。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于矽盛光电(宁夏)有限公司,未经矽盛光电(宁夏)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202123432410.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top