[实用新型]一种光学镀膜机的修正板及光学镀膜机有效

专利信息
申请号: 202123357206.4 申请日: 2021-12-29
公开(公告)号: CN216550668U 公开(公告)日: 2022-05-17
发明(设计)人: 熊凯;徐马记;康凯 申请(专利权)人: 武汉锐晶激光芯片技术有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/54
代理公司: 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 代理人: 安磊
地址: 430000 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型公开一种光学镀膜机的修正板,涉及光学镀膜技术领域,解决了相关技术中修正板在光学镀膜机的腔室内调整不便的技术问题。修正板包括修正板本体、活动板件、导轨、第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件,活动板件贴近修正板本体设置,第一驱动组件与修正板本体和导轨连接,第一驱动组件以驱动修正板本体沿导轨移动,第二驱动组件与修正板本体连接,第二驱动组件以驱动修正板本体转动,第三驱动组件与活动板件连接,第三驱动组件以驱动活动板件伸出或缩回修正板本体的范围。可根据生产工艺的实际情况以及变化,在不用打开腔室门的情况下调整镀膜机内修正板的高度和角度,并适时调节其大小,能够满足不同蒸发基材的需求。
搜索关键词: 一种 光学 镀膜 修正
【主权项】:
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