[实用新型]一种光学镀膜机的修正板及光学镀膜机有效
| 申请号： | 202123357206.4 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN216550668U | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 熊凯;徐马记;康凯 | 申请（专利权）人： | 武汉锐晶激光芯片技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 安磊 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光学 镀膜 修正 | ||
1.一种光学镀膜机的修正板，其特征在于，所述修正板包括：
修正板本体；
活动板件，贴近所述修正板本体设置；
导轨，沿竖向安装于所述光学镀膜机的腔室侧壁；
第一驱动组件，与所述修正板本体和所述导轨连接，以驱动所述修正板本体沿所述导轨移动；
第二驱动组件，与所述修正板本体连接，以驱动所述修正板本体转动；
第三驱动组件，与所述活动板件连接，以驱动所述活动板件伸出或缩回所述修正板本体的范围。
2.如权利要求1所述的修正板，其特征在于，所述第一驱动组件包括：
滑动件，活动设于所述导轨，且与所述修正板本体连接；
第一驱动件，以驱动所述滑动件沿所述导轨移动。
3.如权利要求2所述的修正板，其特征在于，所述第一驱动组件还设有测距件，以测量所述滑动件的高度。
4.如权利要求2所述的修正板，其特征在于，所述第二驱动组件包括：
转轴，所述修正板本体与所述滑动件通过所述转轴可转动连接；
第二驱动件，以驱动所述修正板本体和所述滑动件于所述转轴处相对转动。
5.如权利要求4所述的修正板，其特征在于，所述修正板还包括连接件，所述连接件与所述修正板本体固定连接，所述连接件与所述转轴连接，所述第三驱动组件与所述连接件、所述活动板件连接。
6.如权利要求5所述的修正板，其特征在于，所述第三驱动组件包括：
伸缩杆，与所述连接件、所述活动板件连接；
第三驱动件，以驱动所述伸缩杆动作。
7.如权利要求6所述的修正板，其特征在于，所述活动板件呈月形板设置，所述伸缩杆一端与所述连接件连接、另一端与所述月形板的凹边中心处连接。
8.如权利要求7所述的修正板，其特征在于，所述活动板件包括两个所述月形板，两个所述月形板分别设于所述修正板本体的相对两侧，所述月形板分别通过一所述伸缩杆与所述连接件连接。
9.如权利要求1所述的修正板，其特征在于，所述修正板还配置有控制中心，所述控制中心分别与所述第一驱动组件、所述第二驱动组件、所述第三驱动组件连接。
10.一种光学镀膜机，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的修正板。
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