[实用新型]一种光学镀膜机的修正板及光学镀膜机

说明书

本实用新型公开一种光学镀膜机的修正板，涉及光学镀膜技术领域，解决了相关技术中修正板在光学镀膜机的腔室内调整不便的技术问题。修正板包括修正板本体、活动板件、导轨、第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件，活动板件贴近修正板本体设置，第一驱动组件与修正板本体和导轨连接，第一驱动组件以驱动修正板本体沿导轨移动，第二驱动组件与修正板本体连接，第二驱动组件以驱动修正板本体转动，第三驱动组件与活动板件连接，第三驱动组件以驱动活动板件伸出或缩回修正板本体的范围。可根据生产工艺的实际情况以及变化，在不用打开腔室门的情况下调整镀膜机内修正板的高度和角度，并适时调节其大小，能够满足不同蒸发基材的需求。

技术领域

本实用新型涉及光学镀膜技术领域，尤其涉及一种光学镀膜机的修正板及光学镀膜机。

背景技术

修正板位于光学镀膜机腔室的侧壁上，它的相关布置对于光学镀膜机成膜参数的修定非常重要。传统修正板需要频繁打开光学镀膜机的腔室门才能对修正板进行调节，增加了时间成本。

实用新型内容

本申请提供一种光学镀膜机的修正板及光学镀膜机，解决了相关技术中修正板在光学镀膜机的腔室内调整不便的技术问题。

本申请提供一种光学镀膜机的修正板，包括修正板本体、活动板件、导轨、第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件，活动板件贴近修正板本体设置，导轨沿竖向安装于光学镀膜机的腔室侧壁，第一驱动组件与修正板本体和导轨连接，第一驱动组件以驱动修正板本体沿导轨移动，第二驱动组件与修正板本体连接，第二驱动组件以驱动修正板本体转动，第三驱动组件与活动板件连接，第三驱动组件以驱动活动板件伸出或缩回修正板本体的范围。

可选地，第一驱动组件包括：

滑动件，活动设于导轨，且与修正板本体连接；

第一驱动件，以驱动滑动件沿导轨移动。

可选地，第一驱动组件还设有测距件，以测量滑动件的高度。

可选地，第二驱动组件包括：

转轴，修正板本体与滑动件通过转轴可转动连接；

第二驱动件，以驱动修正板本体和滑动件于转轴处相对转动。

可选地，修正板还包括连接件，连接件与修正板本体固定连接，连接件与转轴连接，第三驱动组件与连接件、活动板件连接。

可选地，第三驱动组件包括：

伸缩杆，与连接件、活动板件连接；

第三驱动件，以驱动伸缩杆动作。

可选地，活动板件呈月形板设置，伸缩杆一端与连接件连接、另一端与月形板的凹边中心处连接。

可选地，活动板件包括两个月形板，两个月形板分别设于修正板本体的相对两侧，月形板分别通过一伸缩杆与连接件连接。

可选地，修正板还配置有控制中心，控制中心分别与第一驱动组件、第二驱动组件、第三驱动组件连接。

一种光学镀膜机，包括上述的修正板。

本申请有益效果如下：本申请提供一种光学镀膜机的修正板，其中通过导轨配合第一驱动组件来调控修正板本体的所处高度，通过第二驱动组件来调控修正板本体的分布角度，并通过第三驱动组件来调控活动板件，使活动板件伸出或缩回修正板本体的范围，以调控活动板件与修正板本体的整体面积大小，本申请提供的修正板，在相关控制的配合下，可根据生产工艺的实际情况以及变化，在不用打开腔室门的情况下调整镀膜机内修正板的高度和角度，并适时调节其大小，能够满足不同蒸发基材的需求，具有便捷、省时的效果。

附图说明