[实用新型]一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统有效
| 申请号： | 202123336311.X | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN216459844U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 王旭东 | 申请（专利权）人： | 成都海威华芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 张巨箭 |
| 地址： | 610299 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统，属于光刻胶技术领域，管路包括依次连接的氮气管(1)、光阻瓶(2)、回流瓶(3)和光阻喷头(4)，氮气管(1)连接在光阻瓶(2)上，光阻瓶(2)通过第一管道(5)与回流瓶(3)连接，回流瓶(3)通过第二管道(6)与光阻喷头(4)连接，第二管道(6)上设有回吸阀(7)，回吸阀(7)上连接有压缩空气阀(8)，氮气管(1)上设有氮气阀(11)，回流瓶(3)上设有排气管(9)，排气管(9)上设有排气阀(91)，该管路利用氮气加压实现自动喷涂，通过回吸组件确保喷胶时不产生气泡和胶滴落；系统实现全自动涂胶，提高工作效率，既能保证涂胶的均匀性又能节省材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 涂胶 管路 及其 构成 系统 | ||
【主权项】：
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