[实用新型]一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统

权利要求书

1.一种自动涂胶管路，其特征在于，所述管路包括依次连接的氮气管(1)、光阻瓶(2)、回流瓶(3)和光阻喷头(4)，所述氮气管(1)连接在所述光阻瓶(2)上，所述光阻瓶(2)通过第一管道(5)与所述回流瓶(3)连接，所述回流瓶(3)通过第二管道(6)与所述光阻喷头(4)连接，所述第二管道(6)上设有回吸阀(7)，所述回吸阀(7)上连接有压缩空气阀(8)，所述氮气管(1)上设有氮气阀(11)，所述回流瓶(3)上设有排气管(9)，所述排气管(9)上设有排气阀(91)。

2.根据权利要求1所述的一种自动涂胶管路，其特征在于，所述光阻瓶(2)为加仑光阻瓶。

3.根据权利要求1所述的一种自动涂胶管路，其特征在于，所述压缩空气阀(8)、氮气阀(11)、回吸阀(7)和排气阀(91)均为电磁阀。

4.一种自动涂胶系统，包括权利要求1-3中任意一项所述的一种自动涂胶管路，其特征在于，所述系统还包括：

用于控制光阻喷头(4)位置的驱动组件，所述驱动组件与所述光阻喷头(4)连接；

用于检测待涂胶晶圆水平位置的传感器；

PLC控制单元，所述PLC控制模块分别与所述传感器、驱动组件、压缩空气阀(8)、氮气阀(11)、回吸阀(7)和排气阀(91)连接；

用于设定涂胶参数的处理器，所述处理器与所述PLC控制单元连接，所述涂胶参数包括涂胶量、涂胶速度和涂胶位置。

5.根据权利要求4所述的一种自动涂胶系统，其特征在于，所述驱动组件包括驱动电机和旋转马达，所述驱动电机分别与所述PLC控制单元、旋转马达连接，所述旋转马达与所述光阻喷头(4)连接。

6.根据权利要求4所述的一种自动涂胶系统，其特征在于，所述传感器为限位传感器。

7.根据权利要求4所述的一种自动涂胶系统，其特征在于，所述PLC控制单元包括PLC控制器。

8.根据权利要求5所述的一种自动涂胶系统，其特征在于，所述驱动电机为步进电机。

9.根据权利要求4所述的一种自动涂胶系统，其特征在于，所述处理器为ARM处理器。

10.根据权利要求7所述的一种自动涂胶系统，其特征在于，所述PLC控制单元还包括继电器开关和电源转换器，所述继电器开关和电源转换器分别与所述PLC控制器连接。