[实用新型]一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置，包括：装置本体，装置本体呈方形结构且两端分别设置有连接口，连接口处安装有法兰，装置本体的内壁两侧共安装有三个初次分离板，三个初次分离板倾斜设置且交替分布，装置本体的内部上端接近开口处安装有二次分离板，二次分离板包括固定框和挡水板，挡水板为向上凸起的球面结构。本实用新型在装置内部安装有三个交替分布的初次分离板，使废气经过时，急剧的变换气流方向，使水停留在流向初次分离板上，最终自动流向下方排出，废气经过初次分离板后再经二次分离板来进行二次分离，二次分离时空气与挡水环接触，使空气中残留的水停留在流向挡水环上，提高水汽分离的效果。