[实用新型]一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置

权利要求书

1.一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置，包括：装置本体(1)，其特征在于：所述装置本体(1)呈方形结构且两端分别设置有连接口(3)，所述连接口(3)处安装有法兰(2)，所述装置本体(1)的内壁两侧共安装有三个初次分离板(5)，三个所述初次分离板(5)倾斜设置且交替分布，所述装置本体(1)的内部上端接近开口处安装有二次分离板(4)，所述二次分离板(4)包括固定框(6)和挡水板(10)，所述挡水板(10)为向上凸起的球面结构。

2.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置，其特征在于：所述初次分离板(5)的底面开设有向内凹陷的导水槽(12)，所述导水槽(12)内均匀固定有导水块(11)，所述导水块(11)呈长条状且截面为半圆形结构。

3.根据权利要求2所述的一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置，其特征在于：所述导水槽(12)内部且位于相邻的导水块(11)之间均匀安装有若干个导水柱(13)，所述导水柱(13)的下端呈球面。

4.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置，其特征在于：所述挡水板(10)的侧壁与固定框(6)内壁固定连接，所述固定框(6)的外壁与装置本体(1)的内壁固定连接，所述挡水板(10)的底面安装有三个挡水环(9)，所述挡水板(10)的表面中部开设有主孔(8)，挡水板(10)表面且位于相邻挡水环(9)之间均匀开设有若干个支孔(7)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置，其特征在于：三个所述挡水环(9)的直径由内之外依次增加，且挡水环(9)的表面均匀开设有若干个缺口。