[实用新型]一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置，包括：装置本体，装置本体呈方形结构且两端分别设置有连接口，连接口处安装有法兰，装置本体的内壁两侧共安装有三个初次分离板，三个初次分离板倾斜设置且交替分布，装置本体的内部上端接近开口处安装有二次分离板，二次分离板包括固定框和挡水板，挡水板为向上凸起的球面结构。本实用新型在装置内部安装有三个交替分布的初次分离板，使废气经过时，急剧的变换气流方向，使水停留在流向初次分离板上，最终自动流向下方排出，废气经过初次分离板后再经二次分离板来进行二次分离，二次分离时空气与挡水环接触，使空气中残留的水停留在流向挡水环上，提高水汽分离的效果。

技术领域

本实用新型涉及水汽分离技术领域，更具体为一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置。

背景技术

废水处理就是利用物理、化学和生物的方法对废水进行处理，使废水净化，减少污染，以至达到废水回收、复用，充分利用水资源。汽水分离器为压力容器结构碳钢或不锈钢设备，接口型式是法兰结构DN16/DN25/DN40；汽水分离器必须安装于水平管线上，排水口垂直向下，所有口径的汽水分离器均带安装支架，以减小管道承载。为确保被分离的液体迅速排放，应在汽水分离器底部的排水口连接合适的一套疏水阀组合。

目前，现有水汽分离装置对水汽捕捉不足，排出气体中仍有较大含水量，对废气后续处理造成一定的影响。为此，需要设计一个新的方案给予改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置，解决了现有的水汽分离装置对水汽捕捉不足，排出气体中仍有较大含水量，对废气后续处理造成一定的影响的问题，满足实际使用需求。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体废气处理设备新型水汽分离装置，包括：装置本体，所述装置本体呈方形结构且两端分别设置有连接口，所述连接口处安装有法兰，所述装置本体的内壁两侧共安装有三个初次分离板，三个所述初次分离板倾斜设置且交替分布，所述装置本体的内部上端接近开口处安装有二次分离板，所述二次分离板包括固定框和挡水板，所述挡水板为向上凸起的球面结构。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述初次分离板的底面开设有向内凹陷的导水槽，所述导水槽内均匀固定有导水块，所述导水块呈长条状且截面为半圆形结构。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述导水槽内部且位于相邻的导水块之间均匀安装有若干个导水柱，所述导水柱的下端呈球面。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述挡水板的侧壁与固定框内壁固定连接，所述固定框的外壁与装置本体的内壁固定连接，所述挡水板的底面安装有三个挡水环，所述挡水板的表面中部开设有主孔，挡水板表面且位于相邻挡水环之间均匀开设有若干个支孔。

作为本实用新型的一种优选实施方式，三个所述挡水环的直径由内之外依次增加，且挡水环的表面均匀开设有若干个缺口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型，在装置内部安装有三个交替分布的初次分离板，使废气经过时，急剧的变换气流方向，使水停留在流向初次分离板上，最终自动流向下方排出，废气经过初次分离板后再经二次分离板来进行二次分离，二次分离时空气与挡水环接触，使空气中残留的水停留在流向挡水环上，提高水汽分离的效果。

附图说明

图1为本实用新型所述半导体废气处理设备新型水汽分离装置的结构图；

图2为本实用新型所述半导体废气处理设备新型水汽分离装置的内部结构图；

图3为本实用新型所述二次分离板的结构图；

图4为图2中A的放大图。