[实用新型]碳化硅粉料合成套件和装置有效
| 申请号： | 202123269238.9 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN216514263U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 周亮亮;蔡文必 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B1/10;C30B28/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 梁晓婷 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶体生长设备领域，具体而言，涉及一种碳化硅粉料合成套件和装置。该碳化硅粉料合成套件包括坩埚桶、坩埚盖以及外套体；其中，坩埚盖与坩埚桶可拆卸地连接；外套体套设于坩埚盖，且包覆坩埚盖与坩埚桶的连接处，外套体包括支撑件，支撑件用于与坩埚盖抵接，以使得外套体与坩埚盖围合成容置腔，容置腔用于容纳由坩埚盖与坩埚桶的连接处溢出的气氛。从而能够通过这样的方式，减少合成粉料的过程中粉料气氛泄漏到热场中，进而能够减缓粉料气氛对热场的腐蚀，从而能够提升热场材料的使用次数，避免因频繁更换热场材料造成的成本增加，以及避免出现无法获得高纯碳化硅粉末的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 合成 套件 装置 | ||
【主权项】：
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