[实用新型]碳化硅粉料合成套件和装置

权利要求书

1.一种碳化硅粉料合成套件，其特征在于，包括：

坩埚桶；

坩埚盖，所述坩埚盖与所述坩埚桶可拆卸地连接；

以及外套体，所述外套体套设于所述坩埚盖，且包覆所述坩埚盖与所述坩埚桶的连接处，所述外套体包括支撑件，所述支撑件用于与所述坩埚盖抵接，以使得所述外套体与所述坩埚盖围合成容置腔，所述容置腔用于容纳由所述坩埚盖与所述坩埚桶的连接处溢出的气氛。

2.根据权利要求1所述的碳化硅粉料合成套件，其特征在于：

所述外套体包括顶板以及设于所述顶板一侧的围板，所述围板的内周面具备与所述坩埚盖的外周壁相适应的轮廓；所述顶板与所述坩埚盖间隔。

3.根据权利要求2所述的碳化硅粉料合成套件，其特征在于：

所述围板为锥形，所述支撑件连接于所述围板的内周壁。

4.根据权利要求3所述的碳化硅粉料合成套件，其特征在于：

所述支撑件包括多个沿所述围板轴向延伸的凸起，相邻的所述凸起之间形成导气通道，多个所述导气通道均将所述坩埚盖与所述坩埚桶的连接处与所述容置腔连通。

5.根据权利要求4所述的碳化硅粉料合成套件，其特征在于：

多个所述导气通道绕所述围板的轴线均匀间隔设置。

6.根据权利要求3所述的碳化硅粉料合成套件，其特征在于：

所述围板的内周面开设有多个凹槽，每个所述凹槽均沿所述围板的轴向延伸以形成将所述坩埚盖与所述坩埚桶的连接处与所述容置腔连通的导气通道。

7.根据权利要求2所述的碳化硅粉料合成套件，其特征在于：

所述围板为圆筒形，所述支撑件设置于所述容置腔，且连接于所述围板的内周壁和或连接于所述顶板。

8.根据权利要求7所述的碳化硅粉料合成套件，其特征在于：

所述围板与所述坩埚盖及所述坩埚桶间隙配合；

所述支撑件包括两个限位台，两个所述限位台交错设置并连接于所述顶板，且与所述坩埚盖抵接。

9.根据权利要求7所述的碳化硅粉料合成套件，其特征在于：

所述支撑件包括限位环，所述限位环绕所述围板的中心轴线设置，且与所述围板的内周壁连接，并与所述顶板间隔；

沿所述围板的中心轴线方向，所述限位环开设有贯穿所述限位环的多个导流口，所述导流口将所述坩埚盖与所述坩埚桶的连接处与所述容置腔连通。

10.一种碳化硅粉料合成装置，其特征在于：

所述碳化硅粉料合成装置包括热场结构以及如权利要求1-9中任意一项所述的碳化硅粉料合成套件；

所述碳化硅粉料合成套件设置于所述热场结构内。