[实用新型]一种CVD反应炉炉体冷却结构

摘要

本实用新型公开了一种CVD反应炉炉体冷却结构,包括炉壳冷却装置和密封冷却装置，炉壳冷却装置包括炉体，炉体设置有进出水接头和冷却腔体，进出水接头以及冷却腔体形成炉壳冷却通道，冷却介质沿炉壳冷却通道流通对炉体外壳进行冷却，密封冷却装置包括密封组件，密封组件设置有进出管组件和槽体组件，进出管组件以及槽体组件形成法兰冷却通道，冷却介质沿密封冷却通道流通对密封组件进行冷却，本实用新型将炉体设计为分段且每段为分层结构，第一半炉壳和第二半炉壳的第一通道和第二通道，冷却介质沿第一通道和第二通道流通，带走热场和石英管传递过来的热量，降低炉体外壳表面的温度，保证炉体外壳表面的温升在标准允许的范围内。