[实用新型]一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型提供了MEMS麦克风。MEMS麦克风包括具有背腔的基底、设置于基底的一侧且围合于背腔外的连接座以及设置于连接座内的电容系统，连接座自其内壁朝外凹陷形成至少两间隔的连接口，电容系统包括容置于连接座内且悬置于背腔的一侧的主体部和自主体部朝外延伸且和连接口一一对应的连接脚，连接脚嵌置于连接口内且和连接座固定，主体部的外侧和连接座的内壁间隔形成狭缝。电容系统的主体部通过连接脚固定在连接座的连接口上，主体部的外侧和连接座的内壁间隔形成狭缝，通过连接脚和连接口相配合，可以将电容系统稳定可靠地装配在连接座上，并且在连接脚和狭缝的共同配合下，可以增加电容系统的主体部振动的顺性，提高麦克风的性能。