[实用新型]一种MEMS麦克风

说明书

本实用新型提供了MEMS麦克风。MEMS麦克风包括具有背腔的基底、设置于基底的一侧且围合于背腔外的连接座以及设置于连接座内的电容系统，连接座自其内壁朝外凹陷形成至少两间隔的连接口，电容系统包括容置于连接座内且悬置于背腔的一侧的主体部和自主体部朝外延伸且和连接口一一对应的连接脚，连接脚嵌置于连接口内且和连接座固定，主体部的外侧和连接座的内壁间隔形成狭缝。电容系统的主体部通过连接脚固定在连接座的连接口上，主体部的外侧和连接座的内壁间隔形成狭缝，通过连接脚和连接口相配合，可以将电容系统稳定可靠地装配在连接座上，并且在连接脚和狭缝的共同配合下，可以增加电容系统的主体部振动的顺性，提高麦克风的性能。

【技术领域】

本实用新型属于声电转换器技术领域，尤其涉及MEMS麦克风。

【背景技术】

随着无线通讯的发展，用户对移动电话的通话质量要求越来越高，麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计的好坏直接影响移动电话的通话质量。

目前在移动电话应用较为广泛的麦克风是MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem)麦克风，一种与本发明相关的MEMS麦克风包括基底以及由振动结构组成的电容系统。振动结构在声波的作用下产生振动，进而使电容系统的电容发生改变，从而将声波信号转化为电信号。但在相关技术中，电容系统的结构以及其和基底的连接方式会导致振动结构存在张力过大、顺性不足的问题，影响麦克风的性能。

【实用新型内容】

本实用新型的目的在于提供一种MEMS麦克风，用于解决相关技术中电容系统的结构以及其和基底的连接方式会导致振动结构存在张力过大、顺性不足的问题，以提高麦克风的性能。

本实用新型的技术方案如下：提供一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设置于所述基底的一侧且围合于所述背腔外侧的连接座以及设置于所述连接座内的电容系统，所述连接座自其内壁朝外凹陷形成至少两间隔的连接口，所述电容系统包括容置于所述连接座内且悬置于所述背腔的一侧的主体部和自所述主体部朝外延伸且和所述连接口一一对应的连接脚，所述连接脚嵌置于所述连接口内且和所述连接座固定，所述主体部的外侧和所述连接座的内壁间隔形成狭缝。

进一步的，所述连接脚包括自所述主体部朝外延伸形成的连接段和连接于所述连接段的远离所述主体部的一端的连接部，所述连接段伸入对应的所述连接口内，所述连接部的远离所述主体部的一侧固定于所述连接座。

进一步的，所述电容系统还包括位于相邻的所述连接脚之间且围设于所述主体部外侧的第一绝缘件，所述第一绝缘件的端部自所述主体部沿着所述连接脚的一侧朝所述连接座弯折延伸。

进一步的，所述电容系统还包括连接于所述第一绝缘件和所述连接座的内壁之间的弹性件。

进一步的，所述弹性件为环形带状，所述弹性件包括沿着所述连接座的内壁延伸的第一连接带和连接于所述第一连接带且沿所述第一绝缘件的表面延伸的第二连接带，所述第一连接带和所述第二连接带之间具有间隔。

进一步的，所述电容系统包括固定于所述连接座的背板组、固定于所述连接座且间隔设置于所述背板组的靠近所述基底侧的第一电极以及固定于所述连接座且间隔设置于所述背板组的远离所述基底侧的第二电极；

所述背板组包括背板主体和自所述背板主体外侧朝外延伸的背板支脚，所述第一电极包括第一主体和自所述第一主体的外侧朝外延伸的第一支脚，所述第二电极包括第二主体和自所述第二主体的外侧朝外延伸的第二支脚，所述背板支脚、所述第一支脚和所述第二支脚一一对应，所述主体部包括所述背板主体、所述第一主体和所述第二主体，所述连接脚包括对应的所述背板支脚、所述第一支脚和所述第二支脚；

所述第一绝缘件围设于所述背板组、所述第一电极和所述第二电极的外侧，所述连接座、所述第一绝缘件、所述第一电极和所述第二电极共同围合形成密封空间。