[实用新型]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设置于所述基底的一侧且围合于所述背腔外侧的连接座以及设置于所述连接座内的电容系统，其特征在于，所述连接座自其内壁朝外凹陷形成至少两间隔的连接口，所述电容系统包括容置于所述连接座内且悬置于所述背腔的一侧的主体部和自所述主体部朝外延伸且和所述连接口一一对应的连接脚，所述连接脚嵌置于所述连接口内且和所述连接座固定，所述主体部的外侧和所述连接座的内壁间隔形成狭缝。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述连接脚包括自所述主体部朝外延伸形成的连接段和连接于所述连接段的远离所述主体部的一端的连接部，所述连接段伸入对应的所述连接口内，所述连接部的远离所述主体部的一侧固定于所述连接座。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电容系统还包括位于相邻的所述连接脚之间且围设于所述主体部外侧的第一绝缘件，所述第一绝缘件的端部自所述主体部沿着所述连接脚的一侧朝所述连接座弯折延伸。

4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电容系统还包括连接于所述第一绝缘件和所述连接座的内壁之间的弹性件。

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述弹性件为环形带状，所述弹性件包括沿着所述连接座的内壁延伸的第一连接带和连接于所述第一连接带且沿所述第一绝缘件的表面延伸的第二连接带，所述第一连接带和所述第二连接带之间具有间隔。

6.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电容系统包括固定于所述连接座的背板组、固定于所述连接座且间隔设置于所述背板组的靠近所述基底侧的第一电极以及固定于所述连接座且间隔设置于所述背板组的远离所述基底侧的第二电极；

所述背板组包括背板主体和自所述背板主体外侧朝外延伸的背板支脚，所述第一电极包括第一主体和自所述第一主体的外侧朝外延伸的第一支脚，所述第二电极包括第二主体和自所述第二主体的外侧朝外延伸的第二支脚，所述背板支脚、所述第一支脚和所述第二支脚一一对应，所述主体部包括所述背板主体、所述第一主体和所述第二主体，所述连接脚包括对应的所述背板支脚、所述第一支脚和所述第二支脚；

所述第一绝缘件围设于所述背板组、所述第一电极和所述第二电极的外侧，所述连接座、所述第一绝缘件、所述第一电极和所述第二电极共同围合形成密封空间。

7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电容系统还包括穿设于所述背板组且两端分别固定于所述第一电极和所述第二电极的第二绝缘件，所述第二绝缘件的端部具有凹槽结构。

8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述主体部连接有所述第二绝缘件；同一所述连接脚中，所述背板支脚、所述第一支脚和所述第二支脚之间连接有所述第二绝缘件。

9.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述主体部设置至少两所述第二绝缘件，所述主体部的各所述第二绝缘件绕所述主体部的中心等角度间隔排布。

10.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背板组包括固定于所述连接座的背板、叠置于所述背板的靠近所述基底侧的第一背板电极以及叠置于所述背板的远离所述基底侧的第二背板电极。