[实用新型]一种固晶装置有效
| 申请号： | 202123236031.1 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN216435856U | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 曾逸;邓应铖 | 申请（专利权）人： | 深圳市卓兴半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 深圳市添源创鑫知识产权代理有限公司 44855 | 代理人： | 姜书新 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种固晶装置，包括基板、承载梁、摆臂、晶元环、顶针、固晶台、摆臂驱动机构，摆臂设有吸嘴，承载梁安装在基板上，摆臂安装于承载梁下方，固晶台安装在基板上，晶元环与承载梁相连，顶针与承载梁相连，顶针位于晶元环下方，工作时，蓝膜安装在晶元环上，摆臂驱动机构用于驱动摆臂在所述晶元环与固晶台之间摆动，当摆臂摆动至晶元环上方时，所述顶针将蓝膜上的晶元向上顶起后，所述吸嘴把晶元吸起；当摆臂摆动至固晶台上方时，通过吸嘴将晶元固晶到固晶台上的电路板上。本实用新型的有益效果是：由于晶元环与所述固晶台错位，固晶台可以在晶元环下方移动，可以不受摆臂长度的限制，从而使固晶范围扩大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
