[实用新型]一种固晶装置有效

专利信息
申请号: 202123236031.1 申请日: 2021-12-21
公开(公告)号: CN216435856U 公开(公告)日: 2022-05-03
发明(设计)人: 曾逸;邓应铖 申请(专利权)人: 深圳市卓兴半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 深圳市添源创鑫知识产权代理有限公司 44855 代理人: 姜书新
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 装置
【说明书】:

实用新型提供了一种固晶装置,包括基板、承载梁、摆臂、晶元环、顶针、固晶台、摆臂驱动机构,摆臂设有吸嘴,承载梁安装在基板上,摆臂安装于承载梁下方,固晶台安装在基板上,晶元环与承载梁相连,顶针与承载梁相连,顶针位于晶元环下方,工作时,蓝膜安装在晶元环上,摆臂驱动机构用于驱动摆臂在所述晶元环与固晶台之间摆动,当摆臂摆动至晶元环上方时,所述顶针将蓝膜上的晶元向上顶起后,所述吸嘴把晶元吸起;当摆臂摆动至固晶台上方时,通过吸嘴将晶元固晶到固晶台上的电路板上。本实用新型的有益效果是:由于晶元环与所述固晶台错位,固晶台可以在晶元环下方移动,可以不受摆臂长度的限制,从而使固晶范围扩大。

技术领域

本实用新型涉及固晶技术领域,尤其涉及一种固晶装置。

背景技术

在目前的固晶技术领域当中,通过固晶装置进行固晶,但是,目前的固晶装置的固晶范围较小,无法满足用户需求。

为什么目前的固晶装置的固晶范围较小呢?因为晶元环和固晶台在同一平面,晶元环和固晶台没有错开位置,在工作时,晶元环和固晶台会发生干涉,无法做到尺寸更大,晶元环和固晶台之间的位置拉大,会带来摆臂尺寸增加,摆臂尺寸增加会使稳定性与速度带来更大的难度。

实用新型内容

本实用新型提供了一种固晶装置,包括基板、承载梁、摆臂、晶元环、顶针、固晶台、摆臂驱动机构,所述摆臂设有吸嘴,所述承载梁安装在所述基板上,所述摆臂安装于所述承载梁下方,所述固晶台安装在所述基板上,所述晶元环与所述承载梁相连,所述顶针与所述承载梁相连,所述顶针位于所述晶元环下方,工作时,蓝膜安装在所述晶元环上,所述摆臂驱动机构用于驱动所述摆臂在所述晶元环与所述固晶台之间摆动,当所述摆臂摆动至所述晶元环上方时,所述顶针将蓝膜上的晶元向上顶起后,所述吸嘴把晶元吸起;当所述摆臂摆动至所述固晶台上方时,通过所述吸嘴将晶元固晶到所述固晶台上的电路板上。

作为本实用新型的进一步改进,该固晶装置还包括连接杆,所述连接杆一端与所述承载梁相连,所述顶针安装于所述连接杆另一端。

作为本实用新型的进一步改进,所述连接杆呈L型。

作为本实用新型的进一步改进,该固晶装置还包括顶针驱动机构,所述顶针驱动机构用于驱动所述顶针将蓝膜上的晶元顶起。

作为本实用新型的进一步改进,该固晶装置还包括晶元环驱动机构、固晶台驱动机构,所述晶元环驱动机构用于驱动所述晶元环移动,所述固晶台驱动机构用于驱动所述固晶台移动。

作为本实用新型的进一步改进,该固晶装置还包括第一相机和第二相机,所述第一相机位于所述晶元环上方,所述第二相机位于所述固晶台上方。

作为本实用新型的进一步改进,所述第一相机和所述第二相机安装于所述承载梁下方。

本实用新型的有益效果是:由于晶元环与所述固晶台错位,固晶台可以在晶元环下方移动,可以不受摆臂长度的限制,从而使固晶范围扩大。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示,本实用新型公开了一种固晶装置,包括基板1、承载梁2、摆臂3、晶元环4、顶针5、固晶台6、摆臂驱动机构,所述摆臂3设有吸嘴7,所述承载梁2安装在所述基板1上,所述摆臂3安装于所述承载梁2下方,所述固晶台6安装在所述基板1上,所述晶元环4与所述承载梁2相连,所述顶针5与所述承载梁2相连,所述顶针5位于所述晶元环4下方,工作时,蓝膜安装在所述晶元环4上,所述摆臂驱动机构用于驱动所述摆臂3在所述晶元环4与所述固晶台6之间摆动,当所述摆臂3摆动至所述晶元环4上方时,所述顶针5将蓝膜上的晶元向上顶起后,所述吸嘴7把晶元吸起;当所述摆臂3摆动至所述固晶台6上方时,通过所述吸嘴7将晶元固晶到所述固晶台6上的电路板上。

该固晶装置还包括连接杆8,所述连接杆8一端与所述承载梁2相连,所述顶针5安装于所述连接杆8另一端。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市卓兴半导体科技有限公司,未经深圳市卓兴半导体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202123236031.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top