[实用新型]一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置

摘要

本实用新型公开了一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置，包括金属膜过滤器，所述金属膜过滤器内壁中间靠近顶部位置固定连接有花板，所述硅粉出口外径底部位置贯穿并固定连接有回收粉罐，所述金属膜过滤器顶部中心位置贯穿并固定连接有均匀分布的反吹支管，所述气体分流装置另一端位置贯穿并固定连接有反吹气储罐。本实用新型中，被反吹下来的滤饼堆积在金属膜过滤器底部，金属膜过滤器硅粉出口至回收粉罐顶部入口的自动控制阀自动打开，硅粉全部落入回收粉罐后，向回收粉罐内充入氮气，硅粉与氮气反应置换掉有毒的氯硅烷，打开回收粉罐底部出料口，硅粉靠重力排出，使得硅粉排放安全。