[实用新型]一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置

说明书

本实用新型公开了一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置，包括金属膜过滤器，所述金属膜过滤器内壁中间靠近顶部位置固定连接有花板，所述硅粉出口外径底部位置贯穿并固定连接有回收粉罐，所述金属膜过滤器顶部中心位置贯穿并固定连接有均匀分布的反吹支管，所述气体分流装置另一端位置贯穿并固定连接有反吹气储罐。本实用新型中，被反吹下来的滤饼堆积在金属膜过滤器底部，金属膜过滤器硅粉出口至回收粉罐顶部入口的自动控制阀自动打开，硅粉全部落入回收粉罐后，向回收粉罐内充入氮气，硅粉与氮气反应置换掉有毒的氯硅烷，打开回收粉罐底部出料口，硅粉靠重力排出，使得硅粉排放安全。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅技术领域，尤其涉及一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置。

背景技术

目前，在多晶硅生产中，很多生产厂家并不对还原尾气和冷凝氯硅烷中夹带的细硅粉进行脱除，进而导致实际生产中出现一系列的严重问题。富集的细硅粉不仅会堵塞各生产单元，对设备系统造成工艺运行阻碍、停车、产能降低等不利影响，而且还会进入连接管线产生严重的污染。人们也尝试采用传统的过滤技术除去硅粉，例如：布袋过滤器、陶瓷过滤器等。但在实际应用中，人们发现布袋过滤器和陶瓷过滤器存在使用寿命短、耐温性和力学性能差（易断裂）等缺点。另外，传统过滤方法得到的硅渣带有盐酸和游离的氯离子，滤渣仍需水洗，但是水洗过程会因反应产生二氧化硅、硅酸等难分离化合物，需要进一步进行二级、三级过滤，进而导致水资源极大浪费、环保压力增大以及生产成本升高。

中国专利文献201920616893.0公开了一种多晶硅生产中干法脱除硅粉的氯硅烷过滤装置，包括两台并联设置的主过滤器A/B、残液过滤器、反吹气罐和干硅粉收集器，所述的主过滤器A/B包括壳体内的花板，将壳体分为上下两个腔体，下腔体中所述花板上安装一组滤芯，下部设置进料口，底部设置排渣口，上腔体中设置滤清液出口，顶部设置反吹气进口；所述主过滤器A/B反吹气进口连接反吹气罐，排渣口连接至残液过滤器残液入口。该专利所提出的装置在实际应用过程中，无法很好的在还原炉出口直接完全拦截硅粉，保护后续设备、泵阀，该专利所提出的装置在硅粉回收过程中耗能较大，且耗费较多人力和时间。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置，包括金属膜过滤器，所述金属膜过滤器内壁中间靠近顶部位置固定连接有花板，所述花板顶部中心位置贯穿并固定连接有均匀分布的滤芯，所述金属膜过滤器左侧顶部位置贯穿并固定连接有压差计，所述金属膜过滤器底部中心位置贯穿并固定连接有硅粉出口，所述硅粉出口外径底部位置贯穿并固定连接有回收粉罐，所述金属膜过滤器顶部中心位置贯穿并固定连接有均匀分布的反吹支管，所述反吹支管外径顶部位置均贯穿并固定连接有气体分流装置，所述气体分流装置另一端位置贯穿并固定连接有反吹气储罐，所述反吹支管底部位置均固定连接有喷嘴。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述金属膜过滤器右侧顶部中间位置贯穿并固定连接有滤清气出口。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述金属膜过滤器左侧底部中间位置贯穿并固定连接有进料口。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述花板位于压差计右侧两端部之间，所述喷嘴与对应的滤芯垂直距离为20～40mm。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述硅粉出口与入口之间联通，所述反吹支管外径上均贯穿并设置有自动控制阀。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述滤芯为金属粉末烧结滤芯材质，所述滤芯为管状且孔径范围为0.1～10 μm。