[实用新型]一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置

权利要求书

1.一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置，包括金属膜过滤器（15），其特征在于：所述金属膜过滤器（15）内壁中间靠近顶部位置固定连接有花板（17），所述花板（17）顶部中心位置贯穿并固定连接有均匀分布的滤芯（2），所述金属膜过滤器（15）左侧顶部位置贯穿并固定连接有压差计（10），所述金属膜过滤器（15）底部中心位置贯穿并固定连接有硅粉出口（4），所述硅粉出口（4）外径底部位置贯穿并固定连接有回收粉罐（16），所述金属膜过滤器（15）顶部中心位置贯穿并固定连接有均匀分布的反吹支管（12），所述反吹支管（12）外径顶部位置均贯穿并固定连接有气体分流装置（9），所述气体分流装置（9）另一端位置贯穿并固定连接有反吹气储罐（14），所述反吹支管（12）底部位置均固定连接有喷嘴（11）。

2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置，其特征在于：所述金属膜过滤器（15）右侧顶部中间位置贯穿并固定连接有滤清气出口（3）。

3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置，其特征在于：所述金属膜过滤器（15）左侧底部中间位置贯穿并固定连接有进料口（1）。

4.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置，其特征在于：所述花板（17）位于压差计（10）右侧两端部之间，所述喷嘴（11）与对应的滤芯（2）垂直距离为20～40 mm。

5.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置，其特征在于：所述硅粉出口（4）与入口（5）之间联通，所述反吹支管（12）外径上均贯穿并设置有自动控制阀（13）。

6.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置，其特征在于：所述滤芯（2）为金属粉末烧结滤芯材质，所述滤芯（2）为管状且孔径范围为0.1～10 μm。

7.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置，其特征在于：所述回收粉罐（16）左侧底部中间位置贯穿并固定连接有充压口（6），所述回收粉罐（16）顶部右侧中间位置贯穿并固定连接有泄压口（7）。

8.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅还原尾气回收的气固分离装置，其特征在于：所述回收粉罐（16）底部中心位置贯穿并固定连接有出料口（8）。