[实用新型]炉体和扩散设备

摘要

本实用新型公开一种炉体和扩散设备，涉及光伏扩散设备技术领域。该炉体包括壳体和保温筒，壳体包覆在保温筒外周，保温筒内部为炉腔，炉腔用于容纳工艺管。保温筒的筒壁内开设有多个进气通道和多个排气通道。进气通道与冷却气体的气源连通，进气通道内的气体可沿进气通道由炉体的一端到另一端。进气通道上设置有多个沿其导流方向分布的第一气孔，且第一气孔的两端分别与进气通道和炉腔连通。排气通道内的气体可沿排气通道由炉体的一端到另一端，排气通道上设置有多个沿其导流方向分布的第二气孔，且第二气孔的两端分别与排气通道和炉腔连通。进气通道与排气通道沿保温筒的周向间隔设置。该方案能解决扩散设备炉体中各处冷却速率不均的问题。