[实用新型]炉体和扩散设备

权利要求书

1.一种扩散设备的炉体，所述炉体用于容纳工艺管，其特征在于，包括壳体(100)和保温筒(200)，

所述壳体(100)包覆在所述保温筒(200)外周，所述保温筒(200)内部为炉腔(210)，所述炉腔(210)用于容纳工艺管(300)；

所述保温筒(200)的筒壁内开设有多个进气通道(220)和多个排气通道(230)，其中：

所述进气通道(220)与冷却气体的气源连通，所述进气通道(220)内的气体可沿所述进气通道(220)由所述炉体的一端到另一端；所述进气通道(220)上设置有多个沿其导流方向分布的第一气孔(240)，且所述第一气孔(240)的两端分别与所述进气通道(220)和所述炉腔(210)连通，所述第一气孔(240)用于向所述炉腔(210)通入所述冷却气体；

所述排气通道(230)内的气体可沿所述排气通道(230)由所述炉体的一端到另一端，所述排气通道(230)上设置有多个沿其导流方向分布的第二气孔(250)，且所述第二气孔(250)的两端分别与所述排气通道(230)和所述炉腔(210)连通，所述第二气孔(250)用于将所述炉腔(210)内的冷却气体排入所述排气通道(230)；所述排气通道(230)的排气端用于排出所述冷却气体；

所述进气通道(220)与所述排气通道(230)沿所述保温筒(200)的周向间隔设置。

2.根据权利要求1所述的炉体，其特征在于，所述进气通道(220)和所述排气通道(230)均沿所述保温筒(200)的轴向设置。

3.根据权利要求2所述的炉体，其特征在于，所述进气通道(220)和所述排气通道(230)均沿所述保温筒(200)的周向均匀分布；和/或，

所述第一气孔(240)沿所述进气通道(220)的导流方向均匀分布；所述第二气孔(250)沿所述排气通道(230)的导流方向均匀分布。

4.根据权利要求1所述的炉体，其特征在于，所述保温筒(200)设置有第一辅助加热段(260)、第二辅助加热段(270)和主加热段(280)，所述第一辅助加热段(260)、所述第二辅助加热段(270)和所述主加热段(280)沿所述保温筒(200)的轴向设置，所述第一辅助加热段(260)和所述第二辅助加热段(270)分别位于所述主加热段(280)的两端。

5.根据权利要求4所述的炉体，其特征在于，所述进气通道(220)设置于与所述第一辅助加热段(260)和所述主加热段(280)相对应的所述保温筒(200)的筒壁内；

所述排气通道(230)设置于与所述第二辅助加热段(270)和所述主加热段(280)相对应的所述保温筒(200)的筒壁内；

所述第一气孔(240)和所述第二气孔(250)均设置于所述主加热段(280)。

6.根据权利要求5所述的炉体，其特征在于，所述炉体还包括加热丝(400)，所述加热丝(400)设置于所述保温筒(200)的筒壁内、且远离所述壳体(100)的一侧。

7.根据权利要求6所述的炉体，其特征在于，所述加热丝(400)的数量为多个，所述加热丝(400)沿所述保温筒(200)的圆周方向设置，且每个所述加热丝(400)设置于所述进气通道(220)和所述排气通道(230)之间。

8.根据权利要求1所述的炉体，其特征在于，所述炉体还包括环形进气件(500)和环形排气件(600)；所述环形进气件(500)开有环形进气通道(510)，所述环形进气通道(510)与每个所述进气通道(220)连通，且所述冷却气体沿所述环形进气通道(510)进入所述进气通道(220)；

所述环形排气件(600)开设有环形排气通道(610)，所述环形排气通道(610)与每个所述排气通道(230)连通，且所述排气通道(230)内的气体均通过所述环形排气通道(610)排出。