[实用新型]一种CZ直拉法单晶炉冷却装置有效
| 申请号： | 202123192177.0 | 申请日： | 2021-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN217298082U | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 杨昊;杨剑;孙自阳 | 申请（专利权）人： | 弘元新材料（包头）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 王建文 |
| 地址： | 014030 内蒙古自治区包头*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种CZ直拉法单晶炉冷却装置，涉及单晶炉冷却技术领域。本实用新型包括单晶炉主体，单晶炉主体的顶部安装有处晶体管，单晶炉主体的一侧固定有第一气泵，第一气泵的输入端固定有第一气体管道，第一气泵的输出端固定有输气管，且输气管的底部贯穿单晶炉主体并延伸至单晶炉主体的内部，单晶炉主体的另一侧固定有第二气泵，第二气泵的输出端固定有第二气体管道。本实用新型通过时间继电器、控制器和第一气泵之间的相互配合，使得装置可有效降低单晶炉主体内部部件的温度，进而缩短了停炉时间并提升了工作效率，且通过隔温密封胶、第二密封胶条和第一密封胶条之间的相互配合，使得单晶炉主体避免漏气。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cz 直拉法单晶炉 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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