[实用新型]一种CZ直拉法单晶炉冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种CZ直拉法单晶炉冷却装置，涉及单晶炉冷却技术领域。本实用新型包括单晶炉主体，单晶炉主体的顶部安装有处晶体管，单晶炉主体的一侧固定有第一气泵，第一气泵的输入端固定有第一气体管道，第一气泵的输出端固定有输气管，且输气管的底部贯穿单晶炉主体并延伸至单晶炉主体的内部，单晶炉主体的另一侧固定有第二气泵，第二气泵的输出端固定有第二气体管道。本实用新型通过时间继电器、控制器和第一气泵之间的相互配合，使得装置可有效降低单晶炉主体内部部件的温度，进而缩短了停炉时间并提升了工作效率，且通过隔温密封胶、第二密封胶条和第一密封胶条之间的相互配合，使得单晶炉主体避免漏气。

技术领域

本实用新型属于单晶炉冷却技术领域，特别是涉及一种CZ直拉法单晶炉冷却装置。

背景技术

单晶硅，又称硅单晶，是一种半导体材料。单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生长无错位单晶硅的设备，在生产制造过程中，停炉工序是非有效产出时间，会导致单晶炉单位小时产量下降，从而影响了非硅成本的上升，以及在安装进气(出气)管道时可能会有缝隙，进而导致单晶炉主体漏气，从而降低单晶炉主体的工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种CZ直拉法单晶炉冷却装置，以解决现有的问题：在生产制造过程中，停炉工序是非有效产出时间，会导致单晶炉单位小时产量下降，从而影响了非硅成本的上升。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种CZ直拉法单晶炉冷却装置，包括单晶炉主体，所述单晶炉主体的顶部安装有处晶体管，所述单晶炉主体的一侧固定有第一气泵，所述第一气泵的输入端固定有第一气体管道，所述第一气泵的输出端固定有输气管，且所述输气管的底部贯穿单晶炉主体并延伸至单晶炉主体的内部，所述单晶炉主体的另一侧固定有第二气泵，所述第二气泵的输出端固定有第二气体管道，所述第二气泵的输入端固定有吸气管，且所述吸气管的底部贯穿并延伸至单晶炉主体的内部；

所述单晶炉主体的外侧还安装有控制机构，所述控制机构用于控制第一气泵和第二气泵的工作与否。

进一步地，所述控制机构包括支撑板、时间继电器和控制器；

所述支撑板固定于单晶炉主体的外侧，所述支撑板的顶部安装有时间继电器，所述支撑板的顶部还安装有控制器。

进一步地，所述输气管和吸气管的外侧均固定有两圈第三密封胶条，所述单晶炉主体的内侧且位于第三密封胶条的外侧均固定有两圈第一密封胶条，两个所述第一密封胶条之间且位于两个第三密封胶条之间还固定有第二密封胶条，所述单晶炉主体和输气管以及单晶炉主体和吸气管之间且位于第一密封胶条和第三密封胶条的两侧均注塑有隔温密封胶。

进一步地，所述时间继电器和控制器、控制器和第一气泵以及控制器和第二气泵之间均电性连接。

进一步地，所述第一气泵和第二气泵均与单晶炉主体通过螺钉固定连接。

进一步地，所述第一密封胶条、第二密封胶条和第三密封胶条的材质均为橡胶。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过时间继电器、控制器和第一气泵之间的相互配合，使得装置可有效降低单晶炉主体内部部件的温度，进而缩短了停炉时间并提升了工作效率。

2、本实用新型通过隔温密封胶、第二密封胶条和第一密封胶条之间的相互配合，使得单晶炉主体避免漏气，从而使得单晶炉主体的工作效果得到提升。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；