[实用新型]一种CZ直拉法单晶炉冷却装置有效
| 申请号： | 202123192177.0 | 申请日： | 2021-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN217298082U | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 杨昊;杨剑;孙自阳 | 申请（专利权）人： | 弘元新材料（包头）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 王建文 |
| 地址： | 014030 内蒙古自治区包头*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cz 直拉法单晶炉 冷却 装置 | ||
1.一种CZ直拉法单晶炉冷却装置，包括单晶炉主体(1)，其特征在于：所述单晶炉主体(1)的顶部安装有处晶体管(2)，所述单晶炉主体(1)的一侧固定有第一气泵(3)，所述第一气泵(3)的输入端固定有第一气体管道(4)，所述第一气泵(3)的输出端固定有输气管(5)，且所述输气管(5)的底部贯穿单晶炉主体(1)并延伸至单晶炉主体(1)的内部，所述单晶炉主体(1)的另一侧固定有第二气泵(6)，所述第二气泵(6)的输出端固定有第二气体管道(7)，所述第二气泵(6)的输入端固定有吸气管(8)，且所述吸气管(8)的底部贯穿并延伸至单晶炉主体(1)的内部；
所述单晶炉主体(1)的外侧还安装有控制机构，所述控制机构用于控制第一气泵(3)和第二气泵(6)的工作与否。
2.根据权利要求1所述的一种CZ直拉法单晶炉冷却装置，其特征在于：所述控制机构包括支撑板(9)、时间继电器(10)和控制器(11)；
所述支撑板(9)固定于单晶炉主体(1)的外侧，所述支撑板(9)的顶部安装有时间继电器(10)，所述支撑板(9)的顶部还安装有控制器(11)。
3.根据权利要求1所述的一种CZ直拉法单晶炉冷却装置，其特征在于：所述输气管(5)和吸气管(8)的外侧均固定有两圈第三密封胶条(15)，所述单晶炉主体(1)的内侧且位于第三密封胶条(15)的外侧均固定有两圈第一密封胶条(13)，两个所述第一密封胶条(13)之间且位于两个第三密封胶条(15)之间还固定有第二密封胶条(14)，所述单晶炉主体(1)和输气管(5)以及单晶炉主体(1)和吸气管(8)之间且位于第一密封胶条(13)和第三密封胶条(15)的两侧均注塑有隔温密封胶(12)。
4.根据权利要求2所述的一种CZ直拉法单晶炉冷却装置，其特征在于：所述时间继电器(10)和控制器(11)、控制器(11)和第一气泵(3)以及控制器(11)和第二气泵(6)之间均电性连接。
5.根据权利要求1所述的一种CZ直拉法单晶炉冷却装置，其特征在于：所述第一气泵(3)和第二气泵(6)均与单晶炉主体(1)通过螺钉固定连接。
6.根据权利要求3所述的一种CZ直拉法单晶炉冷却装置，其特征在于：所述第一密封胶条(13)、第二密封胶条(14)和第三密封胶条(15)的材质均为橡胶。
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