[实用新型]硅片生产用真空箱

摘要

本实用新型公开了一种硅片生产用真空箱，属于太阳能硅片生产设备技术领域。其解决了现有技术中PECVD设备中的三室真空箱存在的飘片缺陷。其主要包括箱体和抽真空机，所述箱体包括箱门，所述箱体内设有三个真空室，箱体在三个真空室的侧壁上分别开设抽气孔，抽真空机分别通过抽真空管连接三个真空室上的抽气孔，三个所述真空室内分别安装挡气板，挡气板通过支撑杆连接环形底座，所述环形底座连接箱体的内侧壁，且抽气孔在环形底座内。