[实用新型]硅片生产用真空箱

权利要求书

1.一种硅片生产用真空箱，包括箱体(1)和抽真空机(2)，所述箱体(1)包括箱门，所述箱体(1)内设有三个真空室(3)，箱体(1)在三个真空室(3)的侧壁上分别开设抽气孔(4)，抽真空机(2)分别通过抽真空管连接三个真空室(3)上的抽气孔(4)，其特征在于：三个所述真空室(3)内分别安装挡气板(5)，挡气板(5)通过支撑杆(6)连接环形底座(7)，所述环形底座(7)连接箱体(1)的内侧壁，且抽气孔(4)在环形底座(7)内。

2.根据权利要求1所述的硅片生产用真空箱，其特征在于：所述挡气板(5)呈凸型。

3.根据权利要求1所述的硅片生产用真空箱，其特征在于：所述挡气板(5)通过三根支撑杆连接环形底座(7)。

4.根据权利要求1所述的硅片生产用真空箱，其特征在于：所述环形底座(7)通过螺栓连接箱体(1)的内侧壁。

5.根据权利要求1所述的硅片生产用真空箱，其特征在于：所述抽真空管包括总管(8)和子管(9)，三个真空室(3)上的抽气孔(4)分别连接子管(9)，总管(8)通过四通管分别连接三个真空室(3)上的子管(9)，子管(9)上安装阀门(10)。

6.根据权利要求1所述的硅片生产用真空箱，其特征在于：所述支撑杆(6)包括母杆(11)和子杆(12)，所述母杆(11)设有供子杆(12)插入的内腔(13)，子杆(12)上开设外螺纹，母杆(11)一端安装可相对母杆(11)转动的螺母(14)，螺母(14)与子杆(12)配合。

7.根据权利要求6所述的硅片生产用真空箱，其特征在于：所述母杆(11)上开设环形槽(15)，螺母(14)呈桶状，螺母(14)底部开设螺纹孔，螺母(14)上侧内部设有环状凸沿(16)，所述凸沿(16)插入环形槽(15)中。