[实用新型]硅片生产用真空箱

说明书

本实用新型公开了一种硅片生产用真空箱，属于太阳能硅片生产设备技术领域。其解决了现有技术中PECVD设备中的三室真空箱存在的飘片缺陷。其主要包括箱体和抽真空机，所述箱体包括箱门，所述箱体内设有三个真空室，箱体在三个真空室的侧壁上分别开设抽气孔，抽真空机分别通过抽真空管连接三个真空室上的抽气孔，三个所述真空室内分别安装挡气板，挡气板通过支撑杆连接环形底座，所述环形底座连接箱体的内侧壁，且抽气孔在环形底座内。

技术领域

本实用新型属于太阳能硅片生产设备技术领域，具体地说，尤其涉及一种硅片生产用真空箱。

背景技术

在太阳能电池技术的发展过程中，提效降本是永恒的主题。随着P型电池接近理论效率极限，N型电池技术将成为未来发展的主流方向。在众多的N型电池技术中异质结电池技术具有效率高、无衰减、生产工艺简单、工艺温度低等优点，在近年的新技术开发中备受关注。

提效降本的方法有很多，从设备的角度考虑，提高设备产能是最直接有效的方法。异质结电池生产过程中用到了四大类设备，分别为制绒清洗设备、PECVD设备、PVD/RPD设备、丝网印刷设备。在这四类设备中，由于PECVD设备需要进行双面非晶硅镀膜，因此PECVD设备是异质结生产中的产能瓶颈。PECVD设备工作流程是将制绒后的硅片通过自动化放入带有硅片框的石墨载板上，载板放满硅片以后送入真空箱。真空箱关闭箱门，利用真空泵抽箱体内的大气，抽到真空状态后再将载板送入真空工艺腔进行化学气相沉积。在PECVD生产流程中制约产能的因素主要是真空室的个数，理论计算结合现场实际生产发现三个真空室垂直分布时产能最大。三室垂直分布只能从侧面抽大气，侧面抽大气的过程中载板靠近真空管道口位置发生飘片现象，无法生产。产能最大化要求PECVD设备真空箱三室垂直分布，真空泵抽大气时装载腔内的空气迅速流动，且越靠近真空管道口空气流速越快，在开始抽大气的瞬间大量气体以极快的速度通过真空管口，导致管口附近的硅片飘出硅片框，发生飘片现象。

发明内容

本实用新型目的是提供一种硅片生产用真空箱，以克服现有技术中 PECVD设备中的三室真空箱存在的飘片缺陷。

本实用新型是采用以下技术方案实现的：一种硅片生产用真空箱，包括箱体和抽真空机，所述箱体包括箱门，所述箱体内设有三个真空室，箱体在三个真空室的侧壁上分别开设抽气孔，抽真空机分别通过抽真空管连接三个真空室上的抽气孔，三个所述真空室内分别安装挡气板，挡气板通过支撑杆连接环形底座，所述环形底座连接箱体的内侧壁，且抽气孔在环形底座内。

进一步地，所述挡气板呈凸型。

进一步地，所述挡气板通过三根支撑杆连接环形底座。

进一步地，所述环形底座通过螺栓连接箱体的内侧壁。

进一步地，所述抽真空管包括总管和子管，三个真空室上的抽气孔分别连接子管，总管通过四通管分别连接三个真空室上的子管，子管上安装阀门。

进一步地，所述支撑杆包括母杆和子杆，所述母杆设有供子杆插入的内腔，子杆上开设外螺纹，母杆一端安装可相对母杆转动的螺母，螺母与子杆配合。

进一步地，所述母杆上开设环形槽，螺母呈桶状，螺母底部开设螺纹孔，螺母上侧内部设有环状凸沿，所述凸沿插入环形槽中。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置挡气板，可很好的避免抽真空机在对真空室内抽真空时发生的飘片现象，实现PECVD设备产能最大化。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型所述挡气板的结构示意图；

图3是本实用新型所述支撑杆的结构示意图；

图4是未加装挡气板时真空室抽真空后载板上硅片情况；