[实用新型]一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机有效
| 申请号： | 202123129569.2 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN216387741U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王耀辉;李学峰;张强 | 申请（专利权）人： | 重庆宇隆电子技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 重庆飞思明珠专利代理事务所(普通合伙) 50228 | 代理人： | 苏娟 |
| 地址： | 400700 重庆市北碚区*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，包括：机体，作用于将掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到芯片上，所述机体内部开设有缺口，所述缺口内部安装有工件台，所述机体内部开设有安装槽，所述安装槽内部嵌合有控制器。该集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，首先，采用齿条板，齿条板滑动时会通过推动固定块而带动控制器向安装槽外滑动，以便于对控制器进行维护，接着，采用防尘板，当防尘板滑动到适应位置时会对缺口处进行遮盖，从而可以对缺口进行密封防尘，最后，采用挤压板，当挤压板会沿螺纹杆与固定杆滑出后，此时再拉动散热网板会与机体进行分离，便于拆卸散热网板进行更换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 芯片 制造 便于 维护 控制器 光刻 | ||
【主权项】：
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